Influencia de los parámetros del proceso de pulverización catódica con magnetrón: temperatura de deposición
Sep 05, 2024| Influencia de los parámetros del proceso de pulverización catódica con magnetrón: temperatura de deposición
La temperatura de deposición también afecta las propiedades mecánicas de los recubrimientos cuaternarios de (Cr,Ti,Al)N. Lin Jing et al. adoptó técnicas de deposición compuesta de pulverización catódica con magnetrón de CC pulsada y revestimiento de iones de arco para preparar recubrimientos cuaternarios de (Cr, Ti, Al) N a 300 grados y 400 grados respectivamente [62]. Los resultados experimentales muestran que los recubrimientos de (Cr,Ti,Al)N preparados a 400 grados exhiben mejores propiedades mecánicas y resistencia al desgaste que los preparados a 300 grados. Con el aumento de la temperatura de deposición, se mejora la capacidad de difusión atómica, el recubrimiento es más denso y la reacción del nitruro es más adecuada, por lo que la dureza del recubrimiento de (Cr,Ti,Al)N aumenta considerablemente. Los resultados experimentales también muestran que con el aumento de la temperatura de deposición, el coeficiente de fricción y la tasa de desgaste del recubrimiento se reducen y aumenta la vida útil de corte de la herramienta de recubrimiento. Esto se debe a que la dureza del recubrimiento aumenta con el aumento de la temperatura de deposición. Según la teoría de Archard, el factor de fricción del recubrimiento es inversamente proporcional a la dureza, por lo que el factor de fricción del recubrimiento se reduce. Además, cuando la temperatura de deposición es alta, el recubrimiento tiene una mayor resistencia a la deformación elástica y la deformación plástica, y una mejor resistencia al daño, por lo que no es fácil agrietarse durante el proceso de fricción, lo que favorece la reducción de la tasa de desgaste del revestimiento. El recubrimiento preparado a 400 grados tiene mayor dureza y tenacidad, y un menor factor de fricción, lo que favorece la extensión de la vida útil de corte de la herramienta.
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