Efecto del dopaje metálico sobre la tensión interna de Ta-C (tipos de metales dopados: Cu, Ti, Fe)
Dec 30, 2023| Efecto del dopaje metálico sobre la tensión interna de ta-C (tipos de metales dopados: Cu, Ti, Fe)
1, cuando el contenido de metal es bajo, la proporción de reducción de la dureza es menor que la proporción de reducción de la tensión, cuando la cantidad de dopaje es muy pequeña, el coeficiente de fricción básicamente no cambia. 2, la dureza de la película con el contenido de metal dopado del cambio de la relación es básicamente la misma, lo que es más importante, dopando diferentes elementos metálicos, el valor de dureza es muy cercano.
Después de la asistencia de iones Ar, la rugosidad de la superficie ha mejorado enormemente y puede alcanzar Ra{{0}}.4 nm. Después del tratamiento con Ar+, la superficie de la película se vuelve lisa y plana, y el coeficiente de fricción se reduce de 0.14 a 0,1. dureza ta-C 5500Hv, módulo elástico 430GPa, tensión 2,1GPa, espesor 1,5μm; La vida útil de la película ta-C aumenta aproximadamente 100 veces.
¿Cuál es la fuente de silicio para el DLC dopado con silicio?
SiC que contiene menos Si
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