Solución de película DLC apagada o falla al platear
Dec 31, 2023| La película DLC se sale o no se coloca la solución en el plato.
Pruebe una estructura de múltiples capas, como usar CrN como capa de transición; Se debe mejorar la interfaz de la matriz y reducir la tasa de deposición de DLC.
El mecanismo básico de eliminación de la película: uno es la limpieza de la superficie, el segundo es la coincidencia de la red y el tercero es el estrés térmico. El bombardeo de iones resuelve el problema de la limpieza de las superficies. El bombardeo de iones utiliza alto voltaje y baja corriente.
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