Método de preparación de DLC
Jan 08, 2024| Método de preparación de DLC
La investigación de la tecnología de preparación de películas DLC comenzó en la década de 1970. Desde que Aisenberg y Chabot depositaron con éxito películas DLC mediante haz de iones de carbono en 1971, la deposición por haz de iones se ha utilizado para preparar películas DLC. Desde entonces, los investigadores han encontrado muchas formas de generar películas DLC. Maissel et al. En el libro "Thin Film Process Manual" señaló que la mayoría de los materiales de película delgada que se pueden depositar en la fase gaseosa también se pueden sintetizar mediante métodos electroquímicos en la fase líquida, y viceversa. Además de la deposición química de vapor (CVD) y la deposición física de vapor (PVD) comunes, la película DLC también se puede preparar mediante deposición electroquímica en fase líquida.
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