Deposición de arco catódico DLC (FCVA)
Jan 11, 2024| Deposición de arco catódico DLC (FCVA),
es encender el arco a través del dispositivo de arco puntual. Bajo el mantenimiento de la fuente de alimentación y el impulso del campo magnético, el carbono del arco en la superficie objetivo se evapora e ioniza. Al mismo tiempo, se añade un canal de filtrado magnético entre el arco de vacío y la matriz. El componente neutro de partículas grandes y algunos iones del plasma se filtran en el canal, para obtener el ion depositado compuesto de un ion de carbono de un solo componente. Fácil de operar, tasa de deposición rápida, pero fácil de contaminar la película;
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