Controlador de flujo másico de uso general - MKS 1179C
El 1179C es un controlador de flujo másico de propósito general diseñado para medir y controlar el flujo de gases en una amplia variedad de aplicaciones. Los controladores de flujo másico 1179 están disponibles con rangos de escala completa de 10 sccm a 20 slm, proporcionando un control de flujo rápido y repetible tan bajo como ...
- Introducción del producto
INTRODUCCIÓN
El 1179C es un controlador de flujo másico de propósito general diseñado para medir y controlar el flujo de gases en una amplia variedad de aplicaciones. Los controladores de flujo másico 1179 están disponibles con rangos de escala completa de 10 sccm a 20 slm, proporcionando un control de flujo rápido y repetible a tan solo 0.2 sccm. También se puede usar como un controlador de presión cuando se conecta a un transductor de presión adecuado.
El 1179C es un reemplazo directo de función de ajuste de forma para los MFC más comunes en el mercado hoy en día. La huella estándar de 3 pulgadas permite que el 1179C caiga directamente en el mismo espacio sin modificar las líneas de gas existentes. Los conectores eléctricos son del mismo tipo que los conectores tipo "D", con las mismas clavijas, señales y funciones que sus contrapartes de la industria, por lo que no es necesario volver a cablear ningún cable o conector. El 1179C es compatible con la fuente de alimentación MFC y la electrónica de visualización de MKS u otros fabricantes.
CARACTERÍSTICAS Y BENEFICIOS
◆ El diseño patentado de 1 sensor proporciona una excepcional estabilidad cero
◆ El rango completo de flujo de escala de 10 sccm a 20 slm permite una medición y control de flujo preciso y repetible
◆ Porcentaje de precisión de escala completa para configuraciones analógicas
◆ El tiempo de calentamiento rápido minimiza el costoso tiempo de inactividad de la producción
◆ Compatible con MKS MKS anterior y módulos de fuente de alimentación / lectura
◆ El diseño y las pruebas rigurosas incluyen análisis de MTBF y pruebas STRIFE para garantizar el rendimiento a largo plazo.
◆ El acabado superficial de las superficies de acero inoxidable mojadas, el procesamiento de sala limpia y el uso mínimo de juntas de elastómero permiten su uso en procesos de limpieza exigentes
◆ La garantía de dos años garantiza la calidad y la satisfacción del cliente
ESTRUCTURA
Un diagrama de sección transversal de un controlador Mass-Flo 1179C
Precisión de flujo y repetibilidad
El gráfico anterior muestra la precisión de flujo típica y la repetibilidad de los MFC analógicos en la familia 1179C. Las mediciones se realizaron usando el Calibrador de Flujo Estándar Primario Califlow ® de MKS Instruments durante un período de 10 días.
Estabilidad Cero
El gráfico anterior muestra la excelente estabilidad de cero y span del sensor 1179C utilizado en la familia 1179. Los instrumentos fueron encendidos y probados al azar para la deriva cero y span durante un período de 19 meses.
ESPECIFICACIÓN
| Gamas de escala completa (equivalente a N 2) | 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, 2000, 5000, 10000, 20000 sccm | |
| Presión máxima de entrada | 150 psig | |
Presión de funcionamiento normal Diferencial (con atmosférica presión en la salida de MFC) | 10 a 5000 sccm | 10 a 40 psid |
| 10000 a 30000 sccm | 15 a 40 psid | |
| Rango de control | 2% a 100% de FS | |
Precisión (analógica) (incluida la no linealidad, la histéresis y la no repetibilidad) referenciado a 760 mmHg y 0 ° C) | ± 1.0% de FS | |
| Repetibilidad | ± 0.2% de FS | |
| Resolución | 0.1% de FS | |
| Coeficientes de temperatura | Cero | <0.05% de="" fs="" °=""> |
| Lapso | <0.08% de="" rdg./="" °=""> | |
| Tiempo de calentamiento (dentro de 0.2% de FS de rendimiento de estado estacionario) | <2> | |
| Tiempo de asentamiento del controlador (según la directriz SEMI E17-91) | <2> | |
| Coeficiente de presión | <0.02% de=""> | |
| Rango de temperatura de funcionamiento normal | 0 ° C a 50 ° C | |
| Voltaje de entrada requerido | Max. corriente en la puesta en marcha (primeros 2 segundos) | ± 15 VDC (± 5%) @ 200 mA |
| Corriente típica en estado estacionario | ± 15 VDC (± 5%) @ 100 mA | |
| Set Point Command Signal | 0 a 5 VDC desde <20k> | |
| Señal de salida | 0 a 5 VDC en> 10K Ω | |
| Impedancia de salida | <1> | |
Tipos de conectores Cosa análoga | Tipo "D" de 9 o 15 pines (El conector tipo "D" de 15 pines es electrónicamente compatible con otros controladores de flujo MKS . Consulte Ingeniería de Aplicaciones para más detalles). | |
| Materiales mojados | Estándar | 316L SS, Viton®, níquel |
| Opcional (sellos y asiento de válvula) | Buna-N, Neoprene®, Kalrez® | |
| Integridad de fuga | Externo (scc / sec He) | <1 x="" 10=""> |
| A través de la válvula cerrada | <1.0% de="" fs="" a="" 40="" psig="" de="" entrada="" a="" la=""> (Para garantizar que no fluya, se recomienda una válvula de cierre positiva separada). | |
| Accesorios (compatible con) | Swagelok® 4 VCR®, Swagelok® 4 VCO®, ¼ '' Swagelok | |
| Conformidad | CE | |
DIBUJO DIMENSIONAL
Nota: A menos que se especifique lo contrario, las dimensiones son valores nominales en pulgadas (referenciadas en mm).
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