La velocidad de bombeo de la bomba de iones al gas inerte

La velocidad de bombeo de la bomba de iones al gas inerte.

La principal propiedad de los gases nobles es que son difíciles de reaccionar con otros elementos. Por lo tanto, la película producida por la pulverización catódica del material catódico no reaccionará con el gas inerte. Además, dado que el efecto de difusión del gas inerte en el material catódico tampoco es fuerte, la velocidad de bombeo generada por la inyección y difusión en el material catódico también es limitada. Por lo tanto, la bomba de iones bipolar ordinaria tiene una velocidad de bombeo muy pequeña para el gas inerte. La baja velocidad de bombeo se debe al hecho de que algunas de las moléculas del gas inerte quedan enterradas por el material del cátodo pulverizado. Después de chocar con el cátodo, los iones del gas inerte se neutralizan en moléculas y se dispersan fuera del cátodo sin pérdida de energía, y estas moléculas del gas inerte mantienen suficiente energía para implantarse/adherirse al ánodo o a la pared de la bomba, donde serán enterradas por el Material catódico producido por pulverización catódica.
Las bombas de iones Noble Diode y StarCell tienen una mayor velocidad de bombeo para gases nobles al variar el tipo de material del cátodo o el ángulo en el que entran los iones, lo que aumenta la probabilidad de que los gases inertes se dispersen hacia el tubo del ánodo o la pared de la bomba y queden enterrados. La velocidad de bombeo de gas inerte de la bomba de iones StarCell puede alcanzar aproximadamente el 20 % de la velocidad de bombeo nominal, lo que es mejor que la de Noble Diode. Además, la forma especial del cátodo hace que el uso del material del cátodo sea más eficiente y, por lo tanto, tiene una vida útil más larga (aproximadamente un 50 % más que otras formas de bombas de iones).

Empresa IKS PVD, máquina de recubrimiento decorativo, máquina de recubrimiento de herramientas, máquina de recubrimiento DLC, máquina de recubrimiento óptico, línea de recubrimiento al vacío PVD, el proyecto llave en mano está disponible. Contáctenos ahora, correo electrónico: iks.pvd@foxmail.com