La limpieza de plasma se puede clasificar más
Aug 05, 2025| Dependiendo de la diferente selección de gases de proceso, la limpieza de plasma se puede clasificar aún más en tres modos: limpieza química, limpieza física y limpieza fisicoquímica
Limpieza química: limpieza de plasma con reacciones superficiales principalmente basadas en reacciones químicas, también conocidas como EP.
Limpieza física: limpieza de plasma con reacciones superficiales principalmente basadas en reacciones físicas, también llamada corrosión de pulverización (SPE).
AR+ se acelera bajo el efecto de auto-sesgo o sesgo externo para generar energía cinética, y luego bombardea la superficie de la pieza de trabajo que se debe a limpiar en el electrodo negativo. Generalmente se usa para eliminar los óxidos y activar simultáneamente la energía superficial. Tanto las reacciones físicas como las reacciones químicas juegan un papel importante en las reacciones superficiales.

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