Temperatura del sustrato PECVD
Jul 10, 2023| La influencia de la temperatura del sustrato en la calidad de la película radica principalmente en la densidad del estado local, la movilidad de los electrones y las propiedades ópticas de la película. El aumento de la temperatura del sustrato es beneficioso para la compensación de la unión de suspensión en la superficie de la película, y disminuye la densidad de defectos de la película.
La temperatura del sustrato tiene poco efecto sobre la tasa de deposición, pero un gran efecto sobre la calidad de la película. Cuanto mayor sea la temperatura, mayor será la densidad de la película de deposición, cuanto mayor sea la temperatura aumenta la reacción superficial y mejora la composición de la película.
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