Problemas comunes del equipo PECVD: el brillo es inestable
Jul 02, 2023| Problemas comunes del equipo PECVD: el brillo es inestable
La corriente de la fuente de alimentación es inestable, mida si la fuente de alimentación es estable. (2) La presión de la cámara de vacío es inestable, verifique si la tasa de fuga del sistema de vacío de la cámara es normal, verifique si la entrada de aire de la cámara es normal. (3) Si el cable está defectuoso, verifique si el contacto del cable es bueno.
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