Los factores que afectan la calidad del proceso PECVD incluyen principalmente los siguientes aspectos
Jul 06, 2023| Se deben considerar dos factores en la selección del espaciado de las almohadillas en la cavidad PECVD:
(1) Voltaje de iluminación: la selección del espacio debe hacer que el voltaje de iluminación sea lo más bajo posible para reducir el potencial de plasma y reducir el daño al sustrato.
(2) espacio entre placas y presión de aire de la cavidad: cuando el espacio entre placas es grande, el daño al sustrato es pequeño, pero el espacio no debe ser demasiado grande, de lo contrario aumentará el efecto de borde del campo eléctrico y afectará la uniformidad de declaración. El tamaño de la cámara de reacción puede aumentar la productividad, pero también tiene un impacto en la uniformidad del espesor.
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