Medidas y métodos para reducir la tensión interna del revestimiento DLC Ta-C

Medidas y métodos para reducir la tensión interna del recubrimiento DLC ta-C.
Aunque algunas personas piensan que la generación de tensión está determinada por el mecanismo del proceso de recubrimiento, es inherente, pero la investigación muestra que se pueden usar algunos métodos efectivos para reducir la tensión y mejorar la adhesión de la película. Hay muchas formas de reducir el estrés del ta-C. Para obtener películas ta-C de baja tensión y alta dureza, el trabajo principal es el siguiente: películas dopadas con silicio, dopadas con metal, asistidas por haz de iones Ar+, películas multicapa, etc.

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