Influencia de los parámetros del proceso de pulverización catódica con magnetrón: potencia de pulverización catódica objetivo

Influencia de los parámetros del proceso de pulverización catódica con magnetrón: potencia de pulverización catódica objetivo

De manera similar al efecto de cambiar la corriente objetivo, el contenido de elementos y la estructura del recubrimiento cuaternario (Cr,Ti,Al)N también se pueden ajustar cambiando el poder de pulverización catódica del objetivo. Los estudios han demostrado que con el aumento del poder de pulverización catódica del objetivo de Cr, el contenido de Cr en el recubrimiento tiende a aumentar y la calidad de la superficie de la película también mejorará [66]. Las razones para la mejora de la calidad de la superficie de la película son las siguientes: por un lado, con el aumento del poder de pulverización del objetivo de Cr, una gran cantidad de partículas de Cr de alta energía pulverizadas chocarán con gotas de Al propensas a formar grupos metálicos durante vuelo, reduciendo el tamaño de las gotas y haciendo que las partículas depositadas en el sustrato sean más finas, mejorando así la calidad superficial del recubrimiento. Por otro lado, con el aumento del poder de pulverización del objetivo de Cr, la energía de las partículas de Cr pulverizadas aumenta, lo que resulta en el efecto anti-pulverización en el recubrimiento, que también provocará la reducción de partículas en la superficie del revestimiento. Los resultados experimentales también muestran que con el aumento del contenido de Cr, los granos del recubrimiento de (Cr,Ti,Al)N se refinan y la microestructura se vuelve densa, y el medio corrosivo es difícil de penetrar en el interior a través de los huecos, orificios y hendidura del límite entre los granos columnares o fibrosos del recubrimiento, por lo que se mejora la resistencia a la corrosión del recubrimiento (Cr, Ti, Al) N. Además, los investigadores descubrieron que con el aumento del contenido de Cr, la resistencia a la oxidación a altas temperaturas de los recubrimientos cuaternarios de (Cr,Ti,Al)N también mejoraría correspondientemente. Esto se debe a que cuanto mayor es el contenido de Cr en el recubrimiento, más abundante es el contenido de la fase 2O3 en la capa de óxido (Cr,Al), la capa de óxido de CR-Al continua y densa no solo puede limitar la difusión de los átomos de titanio a la superficie. de la película, pero también previene eficazmente la difusión de átomos de oxígeno al interior de la película, para evitar que el interior del recubrimiento se oxide aún más. Se mejora la resistencia a la oxidación a alta temperatura de los recubrimientos cuaternarios de (Cr,Ti,Al)N.

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