Morfología de descarga de varias tecnologías de recubrimiento

▲ Figura 1 Morfología de descarga de varias tecnologías de recubrimiento

HIGO. 1 muestra las morfologías de descarga en varias técnicas de recubrimiento iónico. La intensidad de la luz de una descarga de arco es mucho mayor que la de una descarga luminiscente. La parte superior izquierda y la parte superior central son descargas luminiscentes. A la derecha está la luz de descarga de arco de cátodo hueco, en la parte inferior izquierda está la luz de recubrimiento iónico de arco de cátodo y en la parte inferior derecha está la luz de recubrimiento de arco PECVD. En los últimos años, el proceso de recubrimiento al vacío y limpieza de piezas de trabajo se está desarrollando hacia la descarga de arco.

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