Introducción al sesgo
Aug 06, 2024| Introducción al sesgo
La fuente de alimentación polarizada (fuente de alimentación polarizada) es un componente importante en el revestimiento de iones de arco al vacío y otros equipos de deposición física de vapor al vacío. En el revestimiento iónico al vacío, la calidad de la fuente de alimentación polarizada juega un papel muy clave en la calidad de la formación de la película. El sesgo se refiere al voltaje negativo aplicado al sustrato durante el proceso de recubrimiento. El electrodo positivo de la fuente de alimentación polarizada está conectado a la cámara de vacío, mientras que la cámara de vacío está conectada a tierra y el electrodo negativo de la fuente de alimentación polarizada está conectado a la pieza de trabajo. Dado que el voltaje de tierra generalmente se considera de potencial cero, tradicionalmente se dice que el voltaje en la pieza de trabajo tiene polarización negativa.
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