Sistema de vacío ultraalto

Sistema de vacío ultraalto

Un sistema de trampa de frío de la serie de bombas mecánicas de la serie de bombas de difusión
La Figura 5-13 muestra el sistema de vacío, la bomba de difusión serie dos, la trampa fría de nitrógeno líquido y la cámara de vacío y la trampa fría 6 que pueden soportar un horneado de 400 ~ 450 grados. A esta temperatura, se puede eliminar el gas adsorbido en la pared de la cámara de vacío y en la pared de la trampa de frío, así como el aceite condensado de la bomba. El sistema generalmente puede obtener un vacío límite de 1,33×10-7Pa.

▲ Figura 5-13 Sistema de vacío ultraalto de bomba de difusión de aceite: 1- Cámara de vacío 2- Vacuómetro de termopar 3-Vacuómetro BA 4- Válvula de purga {{7} } Válvula de vacío ultraalto 6,7- trampa de frío 8- vacuómetro de ionización 9- Bomba de difusión 10- válvula de tubería frontal 11- trampa frontal 12- Válvula solenoide 13- Bomba mecánica 14- Válvula de tubo de vacío ultraalto 15- Dispositivo de horneado

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