Tanque de aire
Oct 12, 2023| Tanque de aire
El grupo de bombas de alto vacío de bomba de difusión pequeña generalmente está configurado con un tanque de gas, que está dispuesto entre la bomba de difusión y la bomba frontal para almacenar el gas descargado por la bomba de difusión. Las razones para configurar el tanque de gasolina son:
1) La necesidad de protección contra golpes del sistema.
Cuando el sistema de vacío está funcionando, algunos procesos requieren una estricta resistencia a los golpes, por lo que la antigua bomba de vacío mecánica debe dejar de funcionar durante un período de tiempo mientras la cámara de vacío está en condiciones de funcionar. Durante este tiempo, todo el gas descargado por la bomba de difusión se almacena en el tanque de gasolina, y el tanque de gasolina se utiliza para reemplazar la bomba mecánica para mantener el funcionamiento normal de la bomba de difusión.
2) Para acortar el ciclo de trabajo.
Algunos procesos de producción requieren que la cámara de vacío sea puesta a la atmósfera para intercambiar componentes y cargarla sin cerrar el calentador de la bomba de difusión. La bomba frontal de la unidad de vacío se utiliza como bomba de prebombeo. Después de la carga, la cámara de vacío se bombea previamente con una bomba mecánica y el tanque de gas se utiliza durante este tiempo para mantener la bomba de difusión (como bomba frontal).
3) Para evitar que una gran cantidad de descarga instantánea de gas en la cámara de vacío afecte el funcionamiento normal de la bomba de difusión.
En la producción del proceso de vacío, el volumen de escape es particularmente grande en un cierto período de tiempo, pero el tiempo es corto. Si no es económico configurar la bomba mecánica de acuerdo con el volumen máximo de escape en este momento, el tanque de almacenamiento de etapa previa se puede configurar en el sistema en este momento para almacenar una parte del gas en el volumen máximo de escape para evitar el presión previa a la etapa de la bomba de difusión que excede la presión inversa máxima.
4) Se utiliza para estabilizar la presión de salida de la bomba de difusión.
Dado que el escape de la bomba de vacío mecánica es pulsado, aunque la frecuencia no es alta (generalmente alrededor de 7 veces/s), también causará fluctuaciones en la presión de salida de la bomba de difusión, y la configuración del tanque de gas puede reducir tales fluctuaciones.
Empresa IKS PVD, máquina de recubrimiento decorativo, máquina de recubrimiento de herramientas, máquina de recubrimiento DLC, máquina de recubrimiento óptico, línea de recubrimiento al vacío PVD, el proyecto llave en mano está disponible. Contáctenos ahora, correo electrónico: iks.pvd@foxmail.com