Conjunto de bomba de vacío ultraalto

Conjunto de bomba de vacío ultraalto
La unidad de vacío ultraalto funciona en el rango de presión de vacío ultraalto de 10-6 ~ 10-10Pa, además del requisito de que el material de la cámara de vacío tenga una tasa de salida de gas muy baja, un tasa de fuga de gas muy pequeña y puede soportar horneado a alta temperatura de 200 ~ 450 grados, los requisitos para la unidad también incluyen:
(1) el grado de vacío final de la bomba principal debe ser alto, al menos 10-7 ~ 10-8Pa superior;
(2) La bomba principal tiene una cierta velocidad de bombeo dentro del rango de presión de trabajo del vacío ultraalto;
(3) La bomba principal de la unidad o la parte situada encima de la entrada de aire de la bomba principal puede soportar una cocción a alta temperatura de 200 ~ 450 grados;
(4) La presión parcial del gas de reflujo (incluido el vapor del líquido de trabajo y el gas resuelto) a la bomba autónoma debe ser lo suficientemente baja;
(5) La bomba principal con una fuerte selectividad del gas bombeado debe estar equipada con una bomba auxiliar suficientemente grande;
(6) Las tuberías, válvulas y otros componentes situados encima del puerto de entrada de la bomba principal de la unidad, la selección y el sellado de los materiales deben ser especialmente cuidadosos. Generalmente, se utiliza acero inoxidable con baja tasa de salida de gas y estructura de sellado metálica y materiales de sellado.

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