Sistema de alto vacío

Sistema de alto vacío
El sistema de alto vacío se usa ampliamente y su rango de presión de trabajo es generalmente de 1,33 × 10-2 ~ 1,33 × 10-3 Pa. Los sistemas de bombeo comunes son:
(1) Sistema de vacío de bomba mecánica serie bomba de difusión. Como se muestra en la Figura 5-2, este sistema puede obtener un vacío de 10-2 ~ 10-5Pa, que generalmente se usa en equipos de aplicación con gases de escape relativamente pequeños durante la operación. El sistema tiene las ventajas de una estructura simple, operación confiable y bajo costo. La desventaja es que el sistema se inicia lentamente y el tiempo de dibujo previo es largo. El vapor de aceite de la bomba de difusión es fácil de refluir hacia la cámara de vacío.
(2) bomba de refuerzo de aceite en serie con bomba de difusión y luego sistema de vacío con bomba mecánica en serie. El sistema tiene un tiempo previo al sorteo corto pero un inicio lento.
(3) bomba de difusión serie Roots, y luego sistema de vacío de bomba mecánica en serie. El inicio es lento, pero el tiempo de prebombeo es corto.

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