Medidor de flujo másico de alto vacío

Introducción El medidor de flujo másico (MFC) consta de tres dispositivos básicos: sensor de flujo, derivación del divisor de flujo y placa de circuito impreso, mide con precisión las tasas de flujo másico a pesar de que el volumen del gas fluctúa debido a los cambios de temperatura. El MFC se aplica ampliamente en los campos de semiconductores e IC ...

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Introducción del producto

Especificación

Rangos de flujo	(20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM
Exactitud	± 1.5% FS
Linealidad	± 1% FS
Repetibilidad	± 0.2% FS
Tiempo de respuesta	≤4 sec
Coeficiente de temperatura t	Cero: ≤ ± 0.1% FS / ℃; Span: ≤ ± 0.2% FS / ℃
Presión máxima	3MPa
temperatura de operacion	5 ℃ ~ 45 ℃
Material de sellado	Viton, neopreno
Configuración / señal de salida	0V ~ + 5.00V (Impedancia de entrada> 100K, corriente de salida≤3ma)
Fuente de alimentación	+ 15V 50mA -15V 50mA
Conexión eléctrica	D sub 15 pins Mujer
Presión diferencial	0 .01 MPa
Tasa de fuga	1 × 10-8atm • cc / seg He (1 × 10-9 Pa • m ³ / seg He)
Junta estándar	SwagelokΦ8, SwagelokΦ6, SwagelokΦ3, Swagelok1 / 8 ", φ4 (interno) × 1 Acoplador de manguera, VCR1 / 4", Swagelok1 / 4 ", φ6 (interno) × 1 Acoplador de manguera
Medios de comunicación	Todo Gas
Emi	CE
Peso	0.92kg

Introducción

El medidor de flujo másico (MFC) consta de tres dispositivos básicos: sensor de flujo, derivación del divisor de flujo y placa de circuito impreso, mide con precisión las tasas de flujo másico a pesar de que el volumen del gas fluctúa debido a los cambios de temperatura. El MFC se aplica ampliamente en los campos de fabricación de semiconductores y circuitos integrados, ciencia de materiales especiales, industria química, industria petrolífera, industria farmacéutica, protección ambiental, investigación de sistemas de vacío, etc.

Caracteristicas

◆ Alta precisión, larga vida útil, excelente repetibilidad

◆ Respuesta rápida, arranque suave, buena confiabilidad

◆ Amplio rango de presión de operación (buen funcionamiento en alta presión o situación de vacío)

◆ Operación fácil y conveniente

◆ Se puede instalar donde sea necesario y conectarse con la computadora para realizar el control automático.

Aplicación tipica

Las aplicaciones típicas de MFC incluyen equipos de proceso microelectrónicos como difusión, oxidación, epitaxia, CVD, plasma, grabado, pulverización catódica, implantación de iones y otros campos como equipos de deposición al vacío, fusión de fibra óptica, equipos de microreacción, sistema de mezcla y combinación de gases , sistema de control de flujo capilar, cromatógrafo de gases y otros instrumentos analíticos.

Dimensión de instalación