¿Cuál es el proceso específico de acumulación de luminancia en el principio de sputtering magnetron Cómo se ioniza el gas Ar
Apr 22, 2020| ¿Cuál es el proceso específico de acumulación de luminancia en el principio de sputtering de magnetrón? ¿Cómo se ioniza el gas Ar?
Bajo la acción de una tensión aplicada entre los electrodos positivos y negativos, los átomos de gas entre los electrodos serán ionizados. En el proceso de ionización, algunos átomos Ar se ionizan en iones Ar+ y electrones. Los electrones son acelerados hacia el ánodo por el campo eléctrico, y los iones Ar+ cargados positivamente aceleran hacia el objetivo cátodo bajo la acción del campo eléctrico, y liberan la energía correspondiente en la colisión con la superficie objetivo. Uno de los resultados del impacto de los iones con cierta energía en el objetivo es que los átomos en la superficie objetivo ganan cierta energía y dejan la superficie objetivo para moverse hacia el sustrato. En el proceso de sputtering, hay otras partículas traza, incluyendo la emisión secundaria de electrones de cátodo.
Esto es una descarga de gas, y el voltaje es generalmente en los kilovoltios superiores. Pero el sputtering de magnetrón es diferente,
Durante el sputtering de magnetrón, hay un campo magnético en la superficie del objetivo, por lo que los electrones se pueden enlazar alrededor del objetivo sin perderse, formando un fenómeno de descarga autosostenible, y el voltaje disminuye naturalmente a varios cientos de voltios. Durante la descarga autosostenible, la mayor parte de la ionización de argón es causada por el bombardeo de electrones libres.
e- + Ar -Ar+ + 2e-
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