La comparación de principios de procesamiento de haz de electrones y tecnología de procesamiento de haz de iones

El principio   comparación de procesamiento de haz de electrones y tecnología de procesamiento de haz de iones

El procesamiento del haz de electrones está bajo la condición de vacío, utilizando alta densidad de energía del haz de electrones, después de enfocarse en el impacto de alta velocidad en el área de superficie mínima, en muy poco tiempo (dentro de una fracción de microsegundos), la mayor parte de su energía en energía calorífica. , provocan que el impacto del material de la pieza de trabajo alcance más de unos pocos miles de grados Celsius de temperatura, lo que provoca la fusión y vaporización parcial de los materiales, por el sistema de vacío. Se pueden lograr diferentes propósitos de procesamiento controlando la densidad de energía del haz de electrones y el tiempo de inyección de energía. El tratamiento térmico con haz de electrones se puede llevar a cabo si el material se calienta localmente. La soldadura por haz de electrones se puede llevar a cabo fundiendo parcialmente el material. Al aumentar la densidad de energía del haz de electrones, el material se funde y se gasifica, de modo que pueda perforarse, cortarse y procesarse. La litografía con haz de electrones se puede usar para producir cambios químicos cuando se usa un haz de electrones con baja densidad de energía para bombardear materiales fotosensibles de polímeros.

El procesamiento del haz de iones es similar al procesamiento del haz de electrones en que el haz de iones generado por la fuente de iones se acelera para enfocarse en condiciones de vacío, haciendo que golpee la superficie de la pieza de trabajo. Diferente son los iones cargados positivamente, y su calidad es miles, decenas de miles de veces mayor que la electrónica, como la calidad del ion argón es 72000 veces la del electrón, por lo que una vez que el ion se acelera a alta velocidad, el haz de electrones tiene un impacto mayor. energía cinética, es confiar en la energía de impacto micromecánico, en lugar de ser procesado por energía cinética en energía térmica. La base física del procesamiento del haz de iones es el efecto de impacto, el efecto de pulverización catódica y el efecto de inyección cuando el haz de iones golpea la superficie del material. Cuando los iones con una cierta energía cinética se inclinan hacia la superficie de la pieza de trabajo, los átomos en la superficie pueden ser eliminados. Si la pieza de trabajo se usa directamente como objetivo del bombardeo de iones, la superficie de la pieza de trabajo se grabará con iones. Si la pieza de trabajo se coloca cerca del material objetivo, los átomos del material objetivo se pulverizarán sobre la superficie de la pieza de trabajo y se depositarán y adsorberán mediante pulverización catódica, de modo que la superficie de la pieza de trabajo se recubra con un recubrimiento de átomos del material objetivo. Si la energía iónica es lo suficientemente grande como para golpear la superficie de la pieza de trabajo verticalmente, los iones se perforarán en la superficie de la pieza de trabajo, que es el efecto de implantación de iones.

IKS PVD Máquina de recubrimiento óptico con haz de electrones, IKS-OPT2700, Más detalles, bienvenido a iks.pvd@foxmail.com