El sistema de vacío ultra alto sin aceite de la bomba de iones de pulverización catódica
Aug 28, 2021| El sistema de vacío ultra alto sin aceite de la bomba de iones de pulverización catódica
La bomba de iones de pulverización catódica es la bomba principal y se utilizan dos bombas de tamiz molecular como bomba de prebombeo. Una bomba de tamiz molecular se usa para eliminar el gas a presión atmosférica en la cámara de vacío y la bomba de iones de pulverización catódica, y la otra se usa para eliminar el gas liberado cuando se enciende la bomba de horneado y de iones.
sistema de bomba de iones de pulverización catódica
1.Vacuómetro cámara de vacío 2.Ba3.Válvula de vacío ultraalto 4.Válvula de compuerta de vacío ultraalto 5.Bomba de iones de pulverización 6.Válvula de alto vacío 7.Bomba de tamiz molecular 8.Vacuómetro termopar
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