La comparación de características del procesamiento de haz de electrones y la tecnología de procesamiento de haz de iones

Las características   comparación   de procesamiento de haz de electrones y tecnología de procesamiento de haz de iones

Características del procesamiento del haz de electrones:

(1) Debido a que el haz de electrones puede enfocarse extremadamente fino, incluso puede enfocarse a 0.1 m, por lo que el área de procesamiento y la hendidura pueden ser muy pequeñas, es un método de microprocesamiento preciso.

(2) La densidad de energía del haz de electrones es muy alta, de modo que la temperatura de la parte de irradiación excede la temperatura de fusión y gasificación del material. La pieza de trabajo está libre de fuerza mecánica y no produce deformación ni tensión macroscópica. Procesamiento de materiales Se puede procesar una amplia gama de materiales frágiles, resistentes, conductores, no conductores y semiconductores.

(3) La alta densidad de energía del haz de electrones da como resultado una alta eficiencia de procesamiento. Por ejemplo, se pueden perforar 50 agujeros de 0,4 mm de diámetro por segundo en una placa de acero de 2,5 mm de espesor.

(4) La intensidad, la posición y el foco del haz de electrones pueden controlarse directamente mediante un campo magnético o un electrón, por lo que es conveniente automatizar primero todo el proceso. Especialmente en la exposición al haz de electrones, desde la ubicación del procesamiento hasta el escaneo de los gráficos de procesamiento. Puede ser automatizado Durante la perforación y el corte con haz de electrones, se pueden procesar agujeros con formas especiales mediante control eléctrico para lograr un corte curvo.

(5) Debido a que el procesamiento del haz de electrones se lleva a cabo al vacío, por lo que hay menos contaminación, la superficie de procesamiento no se oxidará, especialmente adecuado para el procesamiento de materiales metálicos y aleaciones fácilmente oxidables, materiales semiconductores con requisitos de alta pureza.

(6) El procesamiento del haz de electrones necesita un conjunto completo de equipo especial y sistema de vacío, el precio es más caro, la aplicación de producción tiene ciertas limitaciones.

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