Sistema de vacío ultraalto sin aceite con bomba de iones de pulverización catódica

Sistema de vacío ultraalto sin aceite con bomba de iones de pulverización catódica
La figura 5-15 muestra el diagrama conceptual del sistema. La bomba de iones de pulverización catódica es la bomba principal, y se utilizan dos bombas de tamiz molecular como bombas de prebombeo, una de las cuales se usa para eliminar el gas bajo presión atmosférica en la cámara de vacío y la bomba de iones de pulverización catódica, y la otra se usa para Retire el gas liberado cuando se encienden la bomba de horneado y de iones.

▲ Figura 5-15 Sistema de vacío ultraalto sin aceite con bomba de iones de pulverización catódica: 1-cámara de vacío 2-medidor de vacío BA 3- válvula de vacío ultraalto 4- ultra -válvula de compuerta de alto vacío 5-bomba de iones de pulverización 6- válvula de alto vacío 7- bomba de tamiz molecular 8- vacuómetro de termopar

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