Soluciones a problemas comunes en el proceso de pulverización catódica con magnetrones
Sep 08, 2022| Soluciones a problemas comunes en el proceso de pulverización catódica con magnetrones
La pulverización catódica con magnetrón, un proceso de deposición física de vapor (PVD), es el principal método de deposición de película delgada para la fabricación de semiconductores, unidades de disco, CDS y dispositivos ópticos. Los siguientes son problemas comunes en la pulverización catódica con magnetrones. Hemos enumerado las causas posibles y las soluciones relacionadas para su referencia.
● Problema uno: película gris negra u oscura
Problema dos: la superficie de la película es opaca y opaca.
Problema tres: el color de la película no es uniforme
● Problema cuatro: arrugas, grietas
Problema cinco: la superficie de la película tiene una marca de agua, una huella dactilar y partículas grises
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