Selección de equipos de medición de vacío en diferentes rangos de vacío.

Vacío áspero

Aplicaciones de vacío generales, medidor de vacío tipo resorte (medidor de deformación elástica mecánica)

Al mismo tiempo, cuando se mide desde vacío áspero a bajo vacío, se puede usar un medidor de vacío de tipo diafragma, un medidor de vacío de tipo película capacitiva y un medidor de vacío de ionización radiactiva

101325-1000Pa

Gas corrosivo, medidor de película capacitiva

Ocasiones de medición de precisión, medidor de vacío tipo U

Bajo vacío

Solo para indicación aproximada , indicador de vacío de chispa

1000-0.1Pa

En general, termopar o manómetro de resistencia

Medición de precisión, medidor de vacío de tipo de compresión o medidor de vacío de película delgada de tipo capacitancia

alto vacío

El uso principal del medidor de vacío de ionización

10 ^-1-10-6 Pa

Medidor de vacío de compresión

Al mismo tiempo, se requiere medir bajo vacío y alto vacío, medidor de vacío compuesto (combinación de medidor de vacío de ionización y medidor de vacío de termopar) o medidor de vacío de ionización de alta presión

Medidor de vacío de ionización por cátodo frío para equipos de vacío con gran capacidad de descarga y ocasiones con bajos requisitos

  vacío ultra alto (UHV)

Medidor de vacío de ionización de tipo BA

Desde medición de bajo vacío hasta vacío ultra alto, medidor de vacío ultra alto de amplio rango o medidor de vacío ultra alto compuesto

10 ^-6-10-10 Pa

Medidor de vacío de ionización controlado magnéticamente por cátodo frío

muy alto vacío (XHV)

·

Medidor de vacío de ionización controlado magnéticamente por cátodo frío

Debajo   ^10-10 Pa

Medidor de vacío de ionización de cátodo caliente controlado magnéticamente

Medidor de vacío de ionización de ba mejorado