Pvd pre-limpieza método 2 limpieza de bombardeo de iones

Método de prelimpieza de PVD 2

Método de limpieza: método de limpieza de bombardeo de iones
Propósito de la limpieza: para eliminar la suciedad superficial y los adsorbentes
Medios de limpieza: bombardeo de iones
Proceso de limpieza: el sustrato se coloca en una cámara de vacío de 10 ~ 1000Pa y se aplica alta presión de 0.5 ~ 1kV para generar descarga de resplandor de baja energía y luego los iones positivos acelerados bombardean la superficie del sustrato.

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