Principio de funcionamiento de PECVD - Tubo P
Apr 19, 2024| PEVD Principio de funcionamiento - Tubo P
El sistema tubular PECVD es una serie de generadores que utilizan embarcaciones de recubrimiento de placas paralelas y excitadores de plasma de baja frecuencia. A bajas y altas temperaturas, el generador de plasma reacciona directamente en el medio montado en el centro de la placa recubierta.
Ventajas: en el proceso de deposición, acompañado de la producción de una gran cantidad de átomos de hidrógeno e iones de hidrógeno, la propiedad de pasivación de hidrógeno de la oblea de silicio es muy buena y la proporción de silano a amoníaco se puede cambiar para obtener diferentes índices de refracción.
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