bomba molecular
Apr 14, 2021| bomba molecular
La bomba molecular se utiliza para reemplazar la bomba criogénica en muchas ocasiones tecnológicas en el campo de los semiconductores en el extranjero, especialmente los dispositivos de sputtering, aguafuerte y LCVD, que utilizan la bomba molecular compuesta y la bomba de tracción como la bomba principal.
El tiempo de escape de la bomba molecular es más largo que el de la bomba criogénica porque la velocidad de bombeo de la bomba molecular es sólo una cuarta parte de la velocidad de bombeo de la bomba criogénica del mismo diámetro. Con el fin de mejorar la velocidad de bombeo, se instala una placa fría a baja temperatura de -130 °C ~ -150 °C en el lado de entrada de la bomba molecular en países extranjeros, que se llama la bomba molecular de baja temperatura. El vapor de agua es capturado por la placa de baja temperatura, y otros gases son bombeados por la bomba molecular.
La aplicación de esta bomba molecular a baja temperatura en la planta de recubrimiento al vacío no sólo mejora la eficiencia de producción, sino que también mejora la calidad de la película. Con el rápido desarrollo de la industria de semiconductores, la industria cinematográfica y la investigación científica de China, la bomba molecular debería ser el foco de la industria china de fabricación de bombas de vacío.
En primer lugar, la bomba molecular de pequeña a grande para establecer una serie completa, y la investigación y el desarrollo de una variedad de bomba molecular compuesta, bomba de tracción y bomba molecular de baja temperatura, para satisfacer las necesidades de diferentes ocasiones
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