Grupo de bombas de alto vacío
Oct 09, 2023| Grupo de bombas de alto vacío
El grupo de bombas de alto vacío funciona en estado de flujo molecular y, en comparación con la unidad de bajo vacío, se caracteriza por una baja presión de trabajo (10-2 ~ 10-6Pa), un pequeño volumen de escape y una gran velocidad de bombeo. . La bomba principal de la unidad suele ser una bomba de difusión, una bomba de refuerzo de difusión, una bomba molecular, una bomba de sublimación de titanio, una bomba de condensación de baja temperatura, etc. Estas bombas no pueden funcionar directamente en la atmósfera, por lo que es necesario configurar bombas de prebombeo. y bombas de etapa previa, y algunas bombas de difusión también están equipadas con bombas de mantenimiento de etapa previa o tanques de gas para evitar fluctuaciones de presión en el sistema y mejorar el rendimiento de bombeo de la unidad.
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