Bomba de difusión
Apr 09, 2020| Bomba de difusión
Como todos sabemos, la bomba de difusión de aceite es un tipo de bomba de uso frecuente en sistemas de alto vacío. Entonces, la pregunta es, ¿cuáles son los métodos? Los métodos son los siguientes: primero, la elección del buen rendimiento del aceite de la bomba de difusión en la presión límite de la bomba de difusión de aceite tiene un gran impacto. Si no. Se utiliza aceite de bomba de difusión 3, la presión máxima solo puede alcanzar 10-5pa; Cuando se usa aceite de silicona 275, la presión máxima puede alcanzar 10-7pa, y la presión máxima se puede aumentar en 2 órdenes de magnitud. En segundo lugar, la presión parcial del gas bombeado también cambia con la diferencia del aceite de la bomba, que es la influencia de la composición del aceite de la bomba. Por lo tanto, la bomba de difusión de aceite con buen rendimiento debe seleccionarse para obtener un vacío ultra alto. Dado que el aceite de la bomba de difusión es tan importante, ¿cómo deberíamos elegir? Los requisitos del aceite de la bomba de difusión son: el peso molecular relativo del aceite de la bomba debe ser grande, la presión de vapor a temperatura ambiente es baja, la estabilidad térmica y la resistencia a la oxidación son buenas, el punto de congelación y la viscosidad a baja temperatura son bajas, no tóxicas, resistencia a la corrosión, costo bajo. La bomba de difusión de aceite de alto vacío generalmente NO. 3 aceite de bomba de difusión, vacío ultra alto utiliza aceite de silicona, requiere el sistema de vacío ultra alto sin hidrocarburos, la bomba de difusión utiliza aceite de flúor. En segundo lugar, el uso de una bomba de difusión de aceite de tecnología de horneado razonable para obtener un sistema de vacío ultra alto debe realizarse en horneado a alta temperatura, el objetivo es reducir la velocidad del material. Los materiales en la atmósfera pueden absorber y absorber algo de gas, cuando está en el vacío, producirá desorción, gas liberado lentamente, con el fin de acelerar la desorción, utilizando la cocción.
¿Hornear? Suena simple, ¿no? No, no, no, no, no, no, no, no, no, no. El principio es que una temperatura más alta es mejor, puede acelerar el aire, pero también para considerar si el material puede soportar la temperatura alta. Hornee a la temperatura adecuada. Por lo general, materiales metálicos, como acero inoxidable, temperatura de cocción de 250 ℃ - 450C; La temperatura de cocción de los materiales no metálicos es de 80 ℃ - 100 ℃ . Tiempo de cocción superior a 4h - 8h. El tiempo de cocción del vacío extremadamente alto es de más de 24 h. Rendimiento del sistema típico de bomba de difusión de aceite metálico (después del horneado) y componentes de gas residual en el sistema de ultra alto vacío de la bomba de difusión de aceite metálico. En tercer lugar, agregue un dispositivo de trampa fría para evitar el flujo de retorno del aceite de la bomba y transfiera el aceite de la bomba a través del flujo de entrada de la bomba al fenómeno del contenedor bombeado que se llama flujo de retorno. El fenómeno de las moléculas de aceite que se mueven a lo largo de la pared hacia el contenedor bombeado se llama migración inversa. Tanto el flujo de retorno como la migración inversa afectan la presión final del sistema de vacío. La trampa fría se usa ampliamente en el sistema de vacío ultra alto, se instala entre la entrada de la bomba y la cámara de vacío, no solo puede capturar eficazmente el flujo de retorno del vapor de la bomba de difusión y la solución parcial dividida, sino que también puede eliminar el vapor del cámara de vacío. Sistema de ultra alto vacío con varias trampas. Se puede obtener un vacío ultra alto de 10-8pa ~ 10-10pa (o más) después de una cocción y desgasificación a alta temperatura. La trampa fría comúnmente utilizada es la trampa fría de nitrógeno líquido, porque a la temperatura del nitrógeno líquido, la presión de vapor de aceite de la bomba es mucho menor que los requisitos de vacío ultra alto. El diseño de la trampa fría de nitrógeno líquido debe garantizar que las moléculas que pasan a través de la trampa se encontrarán con la superficie fría, y la estructura debe ser razonable. Después de instalar la trampa fría de nitrógeno líquido, la velocidad de bombeo de la bomba de difusión de aceite se reduce no más del 40%.
La reducción de la difusión inversa del gas bombeado es uno de los factores que restringe la bomba de difusión para obtener un vacío ultra alto. La antidifusión del gas está relacionada con la masa molecular. Cuanto más pequeña es la masa, más fácil es la antidifusión. Hay dos métodos para evitar la difusión inversa de hidrógeno en la bomba de difusión: primero, reduzca la presión de escape en la salida de la bomba de difusión, utilizando dos bombas de difusión en serie para lograr; El segundo es instalar una trampa de sublimación de titanio enfriada con nitrógeno líquido en el tubo de entrada de la bomba de difusión para atrapar el hidrógeno antidifusión.
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