Procedimiento de operación correcta y tratamiento de fallas de la máquina de recubrimiento al vacío.
Jan 17, 2019| Procedimiento de operación correcta y tratamiento de fallas de la máquina de recubrimiento al vacío.
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Operación de gabinete de control eléctrico
1, bomba de agua abierta de vidrio máquina de recubrimiento al vacío, fuente de gas
2, abre la potencia total
3, abra la bomba de mantenimiento, la potencia del medidor de vacío, la posición V1 del archivo del manómetro de vacío, espere a que su valor sea menor a 10 y luego ingrese al siguiente paso de operación. Tarda unos 5 minutos.
4. Abra la bomba mecánica y la bomba previa, abra la fuente de alimentación de la bomba molecular de la turbina y enciéndala. Cambie el indicador de vacío a la posición V2 y bombee hasta que sea menos de 2, aproximadamente 20 minutos.
5. Observe que después de que la lectura de la bomba molecular de la turbina llegue a 250, cierre la bomba, abra la máquina frontal y la válvula alta para continuar bombeando vacío, y solo después de que el vacío alcance un cierto nivel, el indicador de alto vacío puede A la derecha se abre para observar el grado de vacío. El vacío alcanza 2 10-3 antes de que se pueda encender la pistola.
Operación del gabinete de suministro de energía de pistola de electrones def-6b
1, potencia total
2, equipo de recubrimiento al vacío, al mismo tiempo abierto control control de la pistola y control de la pistola Ⅱ potencia: recubrimiento automático de vidrio de acuerdo con el control de la pistola de electrones fuente de alimentación, interruptor de retardo, demora, alimentación y protección de la luz, tres minutos después del tiempo retrasar y proteger las luces se apagaron, si la puerta trasera no está cerrada o si funciona mal con el relé actual, la protección normalmente estará activada.
3. Abra el alto voltaje, el alto voltaje alcanzará más de 10KV, ajuste el haz a aproximadamente 200mA, la rejilla de la cortina es 20V / 100mA, la corriente de filamento 1.2a, la corriente de desviación oscila entre 1 y 1.7.
Secuencia de apagado
1. Apague la cabeza del indicador de alto vacío y la bomba molecular.
2. Cuando la bomba molecular se muestre a 50, cierre la válvula alta, la plataforma delantera y la bomba mecánica sucesivamente, lo que tomará aproximadamente 40 minutos.
3. Apague la bomba de mantenimiento cuando llegue a menos de 50.
Fallo común de la máquina de recubrimiento y su tratamiento.
La señal de giro de la pinza de máscara no se puede detectar:
1. Compruebe la posición de la fuente de señal de flip;
2. Acortar manualmente la señal de entrada de la tapa. Si no se puede detectar ninguna señal, primero revise el circuito y luego reemplace la tarjeta de control.
Volteo inestable de la pinza de la máscara:
1. Compruebe si la posición inicial de la placa de giro se ajusta a la sincronización;
2. Compruebe si el mecanismo de giro es flexible y confiable; Se puede utilizar un multímetro de puntero para monitorizar el seguimiento.
3. Compruebe si el mecanismo de giro es flexible y confiable;
4. Compruebe el ajuste de los tiempos de la señal de giro;
5. Verifique que la mesa giratoria tenga fricción con la pared interna de la campana
6. Comprobar la estabilidad de la mesa giratoria al girar.
En la misma máscara, la dispersión de frecuencia es grande:
1. Compruebe si el chip en sí tiene una gran dispersión;
2. Compruebe si cambia la posición del tablero de corrección de película y reajuste el tablero de corrección
3. Compruebe si el deflector cubre completamente el bote de molibdeno
4. Al abrir y cerrar. Compruebe si el anillo de bombardeo cubre el barco de molibdeno.
5. Compruebe si el barco de molibdeno cumple con los requisitos
Gran dispersión de frecuencia entre POTS:
1, mire en el monitor si hay un fenómeno de salto de frecuencia
2, mediciones repetidas y observación de monitoreo unificado de la estabilidad del oscilador (no más de 75 hz)
3, compruebe si el agua de refrigeración no está obstruida
4, verificar que el uso del barco de molibdeno está de acuerdo con los requisitos, para adoptar el barco circular de molibdeno
5, supervisión, elija si cumple los requisitos, recomiende la supervisión de mi empresa
La frecuencia de recubrimiento no se detiene:
1. Compruebe si la configuración del parámetro de frecuencia es correcta
2, amperímetro de barco de molibdeno si hay una indicación
3. ¿Hay plata en el bote de molibdeno?
4. Si el chip de monitoreo es salto de frecuencia
5. Si el coeficiente de corrección es incorrecto
6. Si se debe reemplazar el panel de monitoreo después de un retiro anormal
Frecuencia no probada:
1, cambia la hoja de seguimiento
2, comprobar para comprobar si la deformación de la metralla
3, inserte directamente con una frecuencia de medición de entrada del oscilador de cristal de 5 MHZ, si tiene preguntas de la sonda de frecuencia comprobada, sin frecuencia, la frecuencia de salida del contador mide la anomalía del oscilador, la prueba del oscilador de salida normal tiene un problema, tiene una salida normal pero hay algo mal con la prueba de computadora a la tarjeta de control de pantalla .
Ninguna acción de las válvulas de control:
1. Compruebe si la fuente de alimentación de 5 V tiene salida y está conectada correctamente
2. Verifique si el extremo común de la fuente de alimentación del tablero de relés de estado sólido tiene válvulas de control eléctrico y no funciona individualmente
3. Compruebe si el relé de estado sólido correspondiente ha emitido
Trabajo sin vacío:
1. Aparecen números anormales en el indicador de vacío digital, y no hay cambios dentro de los 30 segundos, como el fenómeno de 0.00-4 (común en el indicador de vacío doméstico)
2. Después de encender el indicador de vacío durante 30 segundos, el indicador negro aún no oscila
Seguimiento mediante principio
1, monitoreando superficie para limpiar
2, monitor para usar con enchapado, expuesto más de 12 horas en el aire que está prohibido usar
3, monitoreo y defecto superficial de prohibir el uso de
4, en el proceso de uso para usar el registro por lotes, está prohibido que aparezca una mezcla de lo antiguo y lo nuevo.
5, el seguimiento de la vida útil del repetido es 3 veces.