Clasificación del procesamiento del haz de iones
Dec 04, 2019| Clasificación del procesamiento del haz de iones
La base física del procesamiento del haz de iones es el efecto de impacto, el efecto de pulverización catódica y el efecto de inyección cuando el haz de iones golpea la superficie del material. Generalmente hay cuatro categorías:
Yo en grabado
Cuando se usan iones de argón con una energía de 0.1 ~ 5keV y un diámetro de unas pocas décimas de nanómetro para bombear la superficie de la pieza de trabajo, la energía transferida por este ion de alta energía excede la fuerza de unión de los átomos (o moléculas) en la pieza de trabajo superficie, los átomos (o moléculas) en la superficie del material se pulverizan uno por uno para lograr el propósito de procesamiento. Este mecanizado es esencialmente un proceso de corte a escala atómica, a menudo denominado molienda de iones.
El grabado iónico se puede usar para procesar ranuras de cojinetes de aire, perforar agujeros, procesar materiales extremadamente delgados y lentes asféricas de ultra alta precisión, y también se puede usar para grabar gráficos de alta precisión de circuitos integrados.
IKS PVD Máquina de recubrimiento óptico con haz de electrones, IKS-OPT2700, Más detalles, bienvenido a iks.pvd@foxmail.com