Características y clasificación de la unidad de vacío ultra alta
Mar 01, 2021| Características y clasificación de la unidad de vacío ultra alta
Las unidades de vacío ultra-altas que trabajan por encima de 10-5Pa incluyen bomba de difusión, unidad de vacío ultra alta de bomba molecular y unidad de vacío ultra alta sin aceite. La unidad tiene las siguientes características:
(1) el grado de vacío final de la bomba principal es alto, por encima de 10-7 ~ 10-8Pa;
(2) puede soportar la cocción a alta temperatura de 200 ~ 450 ° C;
(3) La presión parcial del gas de flujo posterior en la bomba principal es muy baja;
(4) para ser bombeado gas selectivo bomba principal fuerte, para ser equipado con una bomba auxiliar lo suficientemente grande;
La velocidad de salida del material de la cámara de vacío, tubería, válvula y otros componentes es muy baja, y la velocidad de fuga de aire es muy pequeña.
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