La velocidad de bombeo del gas activo mediante la bomba de iones

La velocidad de bombeo del gas activo por la bomba de iones.

Algunos gases son químicamente más activos, como el hidrógeno, el oxígeno, el nitrógeno, el monóxido de carbono, el dióxido de carbono, etc., y pueden formar fácilmente compuestos estables con la mayoría de los metales. En la bomba de iones, estas moléculas de gas activo reaccionan con titanio fresco (o tantalio) pulverizado mediante bombardeo iónico del cátodo para formar compuestos sólidos como nitruro de titanio y óxido de titanio, que son "bombeados" (de hecho, consumidos por el reacción). Además de reaccionar con el material catódico nuevo que se está pulverizando, el gas activo también se inyectará y difundirá en el material catódico y permanecerá allí, logrando así el efecto de ser "bombeado"; Sin embargo, además del hidrógeno, la mayor parte del gas activo no se inyecta muy profundamente en el material del cátodo; estas partes del gas inyectado en el cátodo después de alcanzar una cierta cantidad, se liberarán durante el bombardeo iónico posterior, que se denomina efecto de saturación (consulte el artículo: velocidad de bombeo de saturación de la bomba de iones, velocidad de bombeo no saturada y velocidad de bombeo nominal). A baja presión, la bomba de diodo con la misma velocidad de bombeo nominal tiene la velocidad de bombeo más alta para gases activos, seguida por el diodo noble, y a presiones más altas (por encima de 5E-6 mbar), la bomba de iones StarCell tiene el bombeo más alto. velocidad.

Empresa IKS PVD, máquina de recubrimiento decorativo, máquina de recubrimiento de herramientas, máquina de recubrimiento DLC, máquina de recubrimiento óptico, línea de recubrimiento al vacío PVD, el proyecto llave en mano está disponible. Contáctenos ahora, correo electrónico: iks.pvd@foxmail.com