Principio y aplicación de la fuente de Holl Ion
May 13, 2019| Principio y aplicación de la fuente de iones holl
Principio de trabajo de fuente de ion
Tipo de fuente de iones
Según la energía iónica se divide en:
Alta energía 200ev o superior, como APS, RF, fuente de iones Kaufman;
Fuente de iones de hall por debajo de la energía baja 200ev
Dividido por tipo:
Tipo Kaufman y tipo Hall.
Cómo funcionan las fuentes de iones
En un entorno denso real, el gas que se llena en la cámara de vacío se elimina mediante el uso de los electrones emitidos bajo la interacción de los campos eléctrico y magnético, y los iones se emiten bajo la acción de los campos eléctrico y magnético.
El principio de estructura de la fuente de iones hall.
Componentes:
El cátodo - emite electrones.
El ánodo produce iones.
Ruta del gas - proporciona gas ionizado
La fuente de poder
La estructura de la fuente de iones Hall.
La estructura de la fuente de iones Kaufman
Energía iónica de la fuente de iones:
Fuente de iones kaufman dividida: es la tensión entre el ánodo y la red.
Fuente de iones Hall: 65-70% del voltaje del ánodo.
IKS PVD, equipo de recubrimiento IET, contacte a: iks.pvd@foxmail.com
