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  • Medidor de flujo de masa

    Medidor de flujo de masa
    D07-7KM Medidor de flujo másico Introducción El medidor de flujo másico (MFC) consta de tres dispositivos básicos: sensor de flujo, derivación del divisor de flujo y placa de circuito impreso, mide con precisión las tasas de flujo masivo a pesar de que el volumen de gas fluctúa debido a los cambios de temperatura. El MFC se aplica ampliamente en los campos ...
    Detalles:

    Introducción

    El medidor de flujo másico (MFC) consta de tres dispositivos básicos: sensor de flujo, derivación del divisor de flujo y placa de circuito impreso, mide con precisión las tasas de flujo másico a pesar de que el volumen del gas fluctúa debido a los cambios de temperatura. El MFC se aplica ampliamente en los campos de fabricación de semiconductores y circuitos integrados, ciencia de materiales especiales, industria química, industria petrolífera, industria farmacéutica, protección ambiental, investigación de sistemas de vacío, etc.

     

    Aplicación tipica

    Las aplicaciones típicas de MFC incluyen equipos de proceso microelectrónicos como difusión, oxidación, epitaxia, CVD, plasma, grabado, pulverización catódica, implantación de iones y otros campos como equipos de deposición al vacío, fusión de fibra óptica, equipos de microreacción, sistema de mezcla y combinación de gases , sistema de control de flujo capilar, cromatógrafo de gases y otros instrumentos analíticos.

    Caracteristicas

    D07-7KM MFC tiene las ventajas de alta precisión, larga vida útil, excelente repetibilidad, respuesta rápida, arranque suave, buena confiabilidad, amplio rango de presión de operación (buen funcionamiento en alta presión o situación de vacío), operación fácil y conveniente, etc. Se puede instalar donde sea necesario y conectarse con la computadora para realizar el control automático.

     

    Especificación

    Rangos de flujo

    (20,30,50,100,200,300,500) SCCM

    (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM

    Exactitud

    ± 1.5% FS

    Linealidad

    ± 1% FS

    Repetibilidad

    ± 0.2% FS

    Tiempo de respuesta

    ≤4 sec

    Coeficiente de temperatura

    Cero: ≤ ± 0.1% FS / ℃; Span: ≤ ± 0.2% FS / ℃

    Presión máxima

    3MPa

    temperatura de operacion

    5 ℃ ~ 45 ℃

    Material de sellado

    Viton, neopreno

    Configuración / señal de salida

    0V ~ + 5.00V

    (Impedancia de entrada> 100K, corriente de salida≤3ma)

    Fuente de alimentación

    + 15V 50mA

    -15V 50mA

    Conexión eléctrica

    D sub 15 pins Mujer

    Presión diferencial

    <0.01>

    Tasa de fuga

    1 × 10-8atm • cc / seg He (1 × 10-9 Pa • m3 / seg He)

    Junta estándar

    SwagelokΦ8, SwagelokΦ6, SwagelokΦ3, Swagelok1 / 8 ", φ4 (interno) × 1 Acoplador de manguera, VCR1 / 4", Swagelok1 / 4 ", φ6 (interno) × 1 Acoplador de manguera

    Medios de comunicación

    Todo Gas

    Emi

    CE

    Peso

    0.92kg


    Dimensión de instalación

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