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  • Controlador de flujo másico LowMFC de baja presión - PFC-20

    Controlador de flujo másico LowMFC de baja presión - PFC-20
    El controlador de flujo másico πMFC de baja presión PFC-20 proporciona una utilización máxima de los gases de fuente de suministro seguro. Implementación de la baja presión πMFC aumenta el tiempo de actividad de la herramienta al reducir la frecuencia de los cambios en el cilindro de gas fuente. Ofrece un control preciso y preciso de bajo nivel de gas ...
    Detalles:


    INTRODUCCIÓN


    El controlador de flujo másico πMFC de baja presión PFC-20 proporciona una utilización máxima de los gases de fuente de suministro seguro. Implementación de la baja presión πMFC aumenta el tiempo de actividad de la herramienta al reducir la frecuencia de los cambios en el cilindro de gas fuente. Ofrece un control preciso y preciso de flujos de gas bajos en un amplio rango de presión con una presión de suministro de gas de fuente tan baja como 4 Torr.


    Este πMFC es lo último en productos MKS diseñados específicamente para gases fuente SDS y VAC ® que sirven a la industria de implantación de iones. Los diseños patentados de válvula y sensor ofrecen estabilidad y precisión cero excepcionales para todas las condiciones de flujo, al tiempo que mantienen la capacidad de alcanzar rápidamente el punto de referencia y controlar repetidamente el flujo de gas. La huella de MFC y control de E / S de tamaño estándar son compatibles con las líneas de gas existentes para una fácil integración y operación.




    CARACTERÍSTICAS Y BENEFICIOS


    Maximiza el uso de la fuente de gas SDS reduciendo los cambios de botella, lo que resulta en un mayor tiempo de actividad de la herramienta y un menor costo de propiedad

    Controla repetidamente los bajos flujos de gas, lo que permite un consumo de gas reducido, utilizando parámetros optimizados para aplicaciones de fuentes de implanto

    El circuito de control digital proporciona una respuesta rápida al punto de ajuste minimizando el tiempo de ciclo del proceso

    Aumenta el tiempo de actividad de la herramienta mediante la reducción de "No se encontró problema": reemplazos de MFC

    - Incluye software y diagnósticos integrados que permiten a los usuarios verificar la funcionalidad de MFC sin quitar el MFC

    -E-diagnóstico a través de la interfaz Ethernet integrada permite monitorear los parámetros de rendimiento durante la operación

    Reemplazo directo de función de ajuste de forma para la mayoría de los MFC comunes

    Reduce los costos de inventario a través de la capacidad multi-gas y multi-rango

    Configuración y diagnósticos sencillos a través de la interfaz Ethernet

    - Utiliza un navegador web estándar - no se requiere ningún software especial

    - Incluye una aplicación de PC remota

    ◆ La brillante pantalla LED giratoria proporciona una fácil visualización del caudal, tipo de gas, rango de flujo de escala completa, temperatura y dirección de Ethernet




    DIBUJO DIMENSIONAL Y PINOUTS


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    ESPECIFICACIÓN


    Actuación
    Gamas de escala completa (equivalente a N 2 ) 2- 20 sccm
    Rango de presión de entrada   4 - 1200 Torr (con vacío en la salida)
    Diferencial de presión de operación normal (equivalente a N 2 ) <10 torr="" a="" flujo="" de="" fs="" (con="" vacío="" en="" la="">
    Presión máxima de purga 150 psig
    Presión de rotura 1500 psig
    Rango de control 2 a 100% de FS
    Exactitud típica  

    ± 1% del punto de referencia para> 10 a 100% FS y

    ± 0.2% de FS para 2 a 10% de FS

    en las presiones de entrada> 20 Torr

    Repetibilidad 0.2% de FS
    Resolución 0.1% de lectura

    Temperatura

    Coeficientes

    Cero ± 0.08% de FS / ° C
    Lapso ± 0.08% de Rdg / ° C

    Tiempo de asentamiento del controlador (según la Semi-Directriz E17-0600)

    <2> típico por encima del 10% de FS a presiones de entrada> 10 Torr

    Tiempo de calentamiento

    (hasta dentro del 0.2% de FS de rendimiento de estado estacionario )

    <30>
    Temperatura de funcionamiento normal 10 a 50 ° C
    Humedad de almacenamiento 0 a 95% de humedad relativa, sin condensación
    Temperatura de almacenamiento   -20 a 65 ° C
    Pantalla de temperatura 0 a 100 ° C
    Unidades de lectura de temperatura   DO
    Exactitud de la temperatura ± 2 ° C
    Resolución de temperatura 0.1 ° C
    Mecánico
    Guarniciones   Swagelok ® 4 VCR ®
    Monitor 4 dígitos para el valor, 4 caracteres para la unidad
    Integridad de fuga Externo (scc / sec He) <1x10>
    A través de la válvula cerrada <1.0% de="" fs="" a="" 25="" psig="" a="" la="">

    Materiales mojados  

    Estándar

    316 SS VAR (equivalente a 316 SS SCQ para calidad de semiconductor),

    316 SS, Elgiloy, KM-45, NiTi

    Acabado de la superficie 5 micras promedio Ra
    Peso Menos de 2 lbs. (0.9 kg)
    Eléctrico
    Conectores   Analógico (potencia y E / S) 9 pin D macho o 15 pin D macho
    Diagnostico Ethernet
    Voltaje de entrada 15-24 VDC ± 5% VDC a 350mA pico, estado estable de 250 mA
    Set Point Command Signal 0 a 5 VDC
    Señal de salida 0 a 5 VDC


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