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  • Indicadores de vacío compatibles y controladores CDG045D 0.05 ~ 1000Torr / Mbar

    Indicadores de vacío compatibles y controladores CDG045D 0.05 ~ 1000Torr / Mbar
    INTRODUCCIÓN Los manómetros INFICON SKY CDG045D son su mejor opción para la medición y el control de la presión total de alta precisión. Los medidores CDG045D están controlados por temperatura a 45 ° C para una estabilidad de señal superior y repetibilidad. Están disponibles para rangos de escala completa de 50 mTorr a 1000 Torr, con ...
    Detalles:


    INTRODUCCIÓN


    Los manómetros INFICON SKY CDG045D son su mejor opción para la medición y el control de la presión total de alta precisión. Los medidores CDG045D están controlados por temperatura a 45 ° C para una estabilidad de señal superior y repetibilidad. Están disponibles para rangos de escala completa de 50 mTorr a 1000 Torr, con todos los tipos de bridas comunes e interfaces de bus de campo y proporcionan una señal de presión lineal de 0 a 10 V, independiente del tipo de gas. Los manómetros de capacitancia INFICON utilizan un diafragma cerámico de alúmina ultrapura que es resistente a la corrosión. Las ventajas del sensor de cerámica son una mejor estabilidad de señal, una recuperación más rápida de la atmósfera, un tiempo de calentamiento corto y una vida útil extraordinaria. INFICON CDG son sensores de presión de alta calidad y económicos para aplicaciones de vacío exigentes.


    Los indicadores de diafragma de capacitancia INFICON SKY CDG045D son reemplazos directos para los transmisores Oerlikon Leybold CTR 101. Obtenga el original del fabricante con soporte global y soluciones para todas las aplicaciones.




    BENEFICIOS


    Totalmente compatible con los transmisores CTR 101

    CoO más bajo (costo de propiedad), calentamiento 50% más rápido, bajo consumo de energía eficiente

    Fácil integración, amplia variedad de básculas completas, bridas e interfaces, estándar con dos puntos de ajuste

    Botón de un solo botón o comando de señal remota cero, compensación de cero ajustable

    Puerto de diagnóstico para un servicio y mantenimiento rápidos

    Garantía de dos años, mayor vida útil con un avanzado concepto de calentamiento y protección de indicadores

    Sin recalibración a largo plazo debido a la excelente estabilidad de señal y repetibilidad, incluso en aplicaciones de plasma severas

    Cumplimiento y estándares: CE, EN, UL, SEMI, RoHS




    APLICACIONES TÍPICAS


    Etch, CVD, PVD y otros procesos de producción de semiconductores

    Procesos de vacío químicos y corrosivos

    Procesos generales de película fina y vacío

    Sensor de referencia para supervisar los instrumentos de prueba de acuerdo con los estándares internacionales

    Norma de transferencia para mediciones de trazabilidad




    ESPECIFICACIÓN


    blob.png




    Tipo


    1000 Torr, 1100 mbar

    500 ... 1Torr / mbar

    0.5 ... 0.05 Torr / mbar

    Exactitud

    % de leer

    0.15

    0.15

    0.15

    Efecto de la temperatura

    en cero

    por ciento FS / ° C

    0.0025

    0.0025

    0.0025

    en palmo

    % de lectura / ° C

    0.01

    0.01

    0.01

    Resolución

    por ciento FS

    0.003

    0.003

    0.003

    Presión, máx.

    kPa (absoluto)

    400

    260

    130

    Lectura más baja

    por ciento FS

    0.01

    0.01

    0.01

    Mínimo sugerido

    leyendo

    por ciento FS

    0.05

    0.05

    0.05

    Mínimo sugerido

    control de presión

    por ciento FS

    0.5

    0.5

    0.5

    Temperatura

    Operación (ambiente)

    DO

    +10 ... +40

    +10 ... +40

    +10 ... +40

    Bakeout en la brida

    DO

    ≤110

    ≤110

    ≤110

    Almacenamiento

    DO

    -20 ... +65

    -20 ... +65

    -20 ... +65

    Voltaje de suministro


    +14 ... +30 VDC o ±

    15 V (± 5%)

    +14 ... +30 VDC o ±

    15 V (± 5%)

    +14 ... +30 VDC o ±

    15 V (± 5%)

    El consumo de energía

    Durante el calentamiento

    W

    ≤12

    ≤12

    ≤12

    A la temperatura de funcionamiento

    W

    ≤8

    ≤8

    ≤8

    Señal de salida (analógica)

    V (dc)

    0 ... +10

    0 ... +10

    0 ... +10

    Tiempo de respuesta

    Sra

    30

    30

    130/30

    Grado de protección


    IP 40

    IP 40

    IP 40

    Estándares

    Conformidad CE


    EN 61000-6-2 / -6-3,

    EN 61010 y RoHS

    EN 61000-6-2 / -6-3,

    EN 61010 y RoHS

    EN 61000-6-2 / -6-3,

    EN 61010 y RoHS

    Certificación ETL


    UL 61010-1, CSA

    22.2 No.61010-1

    UL 61010-1, CSA

    22.2 No.61010-1

    UL 61010-1, CSA

    22.2 No.61010-1

    Cumplimiento SEMI


    SEMI S2

    SEMI S2

    SEMI S2

    Conexión electrica


    D-sub, 15 polos, macho

    D-sub, 15 polos, macho

    D-sub, 15 polos, macho

    Punto fijo





    Número de puntos de ajuste


    2 (SP1, SP2)

    2 (SP1, SP2)

    2 (SP1, SP2)

    Contacto de relevo

    V (dc)

    ≤30

    ≤30

    ≤30

    Histéresis

    por ciento FS

    1

    1

    1

    Puerto de diagnóstico

    Protocolo


    RS232-C

    RS232-C

    RS232-C

    Leer


    presión, estado, identificación

    presión, estado, identificación

    presión, estado, identificación

    Conjunto


    establecer puntos, filtro, cero

    ajustar, restablecer de fábrica,

    Desplazamiento DC

    establecer puntos, filtro, cero

    ajustar, restablecer de fábrica,

    Desplazamiento DC

    establecer puntos, filtro, cero

    ajustar, restablecer de fábrica,

    Desplazamiento DC

    Materiales expuestos a

    vacío


    cerámica de óxido de luminum

    (AI2O3), acero inoxidable (AISI 316L)

    cerámica de óxido de luminum

    (AI 2 O 3 ), acero inoxidable (AISI 316L )

    cerámica de óxido de luminum

    (AI 2 O 3 ), acero inoxidable (AISI 316L )

    Volumen interno

    1/2 '' tubo

    cm³ (in.³)

    4.2 (0.26)

    DN 16 ISO KF

    cm³ (in.³)

    4.2 (0.26)

    DN 16 CF-R

    cm³ (in.³)

    4.2 (0.26)

    8 VCR®

    cm³ (in.³)

    4.2 (0.26)






























































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