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Información del contacto
Indicadores de vacío compatibles y controladores CDG045D 0.05 ~ 1000Torr / Mbar
INTRODUCCIÓN
Los manómetros INFICON SKY CDG045D son su mejor opción para la medición y el control de la presión total de alta precisión. Los medidores CDG045D están controlados por temperatura a 45 ° C para una estabilidad de señal superior y repetibilidad. Están disponibles para rangos de escala completa de 50 mTorr a 1000 Torr, con todos los tipos de bridas comunes e interfaces de bus de campo y proporcionan una señal de presión lineal de 0 a 10 V, independiente del tipo de gas. Los manómetros de capacitancia INFICON utilizan un diafragma cerámico de alúmina ultrapura que es resistente a la corrosión. Las ventajas del sensor de cerámica son una mejor estabilidad de señal, una recuperación más rápida de la atmósfera, un tiempo de calentamiento corto y una vida útil extraordinaria. INFICON CDG son sensores de presión de alta calidad y económicos para aplicaciones de vacío exigentes.
Los indicadores de diafragma de capacitancia INFICON SKY CDG045D son reemplazos directos para los transmisores Oerlikon Leybold CTR 101. Obtenga el original del fabricante con soporte global y soluciones para todas las aplicaciones.
BENEFICIOS
◆ Totalmente compatible con los transmisores CTR 101
◆ CoO más bajo (costo de propiedad), calentamiento 50% más rápido, bajo consumo de energía eficiente
◆ Fácil integración, amplia variedad de básculas completas, bridas e interfaces, estándar con dos puntos de ajuste
◆ Botón de un solo botón o comando de señal remota cero, compensación de cero ajustable
◆ Puerto de diagnóstico para un servicio y mantenimiento rápidos
◆ Garantía de dos años, mayor vida útil con un avanzado concepto de calentamiento y protección de indicadores
◆ Sin recalibración a largo plazo debido a la excelente estabilidad de señal y repetibilidad, incluso en aplicaciones de plasma severas
◆ Cumplimiento y estándares: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
APLICACIONES TÍPICAS
◆ Etch, CVD, PVD y otros procesos de producción de semiconductores
◆ Procesos de vacío químicos y corrosivos
◆ Procesos generales de película fina y vacío
◆ Sensor de referencia para supervisar los instrumentos de prueba de acuerdo con los estándares internacionales
◆ Norma de transferencia para mediciones de trazabilidad
ESPECIFICACIÓN
Tipo | 1000 Torr, 1100 mbar | 500 ... 1Torr / mbar | 0.5 ... 0.05 Torr / mbar | |
Exactitud | % de leer | 0.15 | 0.15 | 0.15 |
Efecto de la temperatura | ||||
en cero | por ciento FS / ° C | 0.0025 | 0.0025 | 0.0025 |
en palmo | % de lectura / ° C | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
Resolución | por ciento FS | 0.003 | 0.003 | 0.003 |
Presión, máx. | kPa (absoluto) | 400 | 260 | 130 |
Lectura más baja | por ciento FS | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
Mínimo sugerido leyendo | por ciento FS | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
Mínimo sugerido control de presión | por ciento FS | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
Temperatura | ||||
Operación (ambiente) | DO | +10 ... +40 | +10 ... +40 | +10 ... +40 |
Bakeout en la brida | DO | ≤110 | ≤110 | ≤110 |
Almacenamiento | DO | -20 ... +65 | -20 ... +65 | -20 ... +65 |
Voltaje de suministro | +14 ... +30 VDC o ± 15 V (± 5%) | +14 ... +30 VDC o ± 15 V (± 5%) | +14 ... +30 VDC o ± 15 V (± 5%) | |
El consumo de energía | ||||
Durante el calentamiento | W | ≤12 | ≤12 | ≤12 |
A la temperatura de funcionamiento | W | ≤8 | ≤8 | ≤8 |
Señal de salida (analógica) | V (dc) | 0 ... +10 | 0 ... +10 | 0 ... +10 |
Tiempo de respuesta | Sra | 30 | 30 | 130/30 |
Grado de protección | IP 40 | IP 40 | IP 40 | |
Estándares | ||||
Conformidad CE | EN 61000-6-2 / -6-3, EN 61010 y RoHS | EN 61000-6-2 / -6-3, EN 61010 y RoHS | EN 61000-6-2 / -6-3, EN 61010 y RoHS | |
Certificación ETL | UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1 | UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1 | UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1 | |
Cumplimiento SEMI | SEMI S2 | SEMI S2 | SEMI S2 | |
Conexión electrica | D-sub, 15 polos, macho | D-sub, 15 polos, macho | D-sub, 15 polos, macho | |
Punto fijo | ||||
Número de puntos de ajuste | 2 (SP1, SP2) | 2 (SP1, SP2) | 2 (SP1, SP2) | |
Contacto de relevo | V (dc) | ≤30 | ≤30 | ≤30 |
Histéresis | por ciento FS | 1 | 1 | 1 |
Puerto de diagnóstico | ||||
Protocolo | RS232-C | RS232-C | RS232-C | |
Leer | presión, estado, identificación | presión, estado, identificación | presión, estado, identificación | |
Conjunto | establecer puntos, filtro, cero ajustar, restablecer de fábrica, Desplazamiento DC | establecer puntos, filtro, cero ajustar, restablecer de fábrica, Desplazamiento DC | establecer puntos, filtro, cero ajustar, restablecer de fábrica, Desplazamiento DC | |
Materiales expuestos a vacío | cerámica de óxido de luminum (AI2O3), acero inoxidable (AISI 316L) | cerámica de óxido de luminum (AI 2 O 3 ), acero inoxidable (AISI 316L ) | cerámica de óxido de luminum (AI 2 O 3 ), acero inoxidable (AISI 316L ) | |
Volumen interno | ||||
1/2 '' tubo | cm³ (in.³) | 4.2 (0.26) | ||
DN 16 ISO KF | cm³ (in.³) | 4.2 (0.26) | ||
DN 16 CF-R | cm³ (in.³) | 4.2 (0.26) | ||
8 VCR® | cm³ (in.³) | 4.2 (0.26) | ||
