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  • Unidad de vacío ultraalto Carácter y clasificación
    Oct 26, 2018

    Las unidades de vacío ultraalto que funcionan por encima de 10-5pa incluyen una bomba de difusión, una unidad de vacío ultraalto de bomba molecular y una unidad de vacío ultraalto sin aceite. La unidad tiene las siguientes características:

    El grado máximo de vacío de la bomba principal es superior a 10-7 ~ 10-8pa.

    (2) puede soportar la alta temperatura de cocción de 200 ~ 450 ℃;

    La presión parcial del gas de retorno de la bomba principal es baja.

    Para la bomba principal con alta selectividad, debe estar equipada con una bomba auxiliar suficientemente grande.

    (1) unidad de vacío ultraalto de bomba de difusión

    El último vacío de las unidades de vacío ultraalto con bombas de difusión como las bombas principales es 10-7 ~ 10-8pa.

    Con el fin de reducir la influencia de la difusión inversa del gas desde la etapa delantera de la bomba de difusión y la difusión inversa del aceite de la bomba mecánica en el último grado de vacío, se puede utilizar una bomba de difusión con una velocidad de bombeo más baja en la etapa delantera de La bomba de difusión para reducir la relación de compresión y la difusión inversa. Si se agrega una trampa de sublimación de titanio a la entrada de la bomba de difusión, la presión parcial de nitrógeno de la bomba de difusión se puede reducir aún más y se puede obtener un vacío súper alto de 10-11pa.

    Bomba de vacío de paletas rotativas selladas con aceite de una etapa SOGEVAC SV 300 B

    (2) unidad de vacío ultraalto de bomba molecular

    El vacío máximo de las unidades de vacío ultraalto, que utilizan principalmente bombas moleculares, es de 10-8pa, que se caracteriza por un inicio rápido y una baja contaminación del aceite.

    La velocidad de bombeo se puede aumentar agregando una trampa fría de nitrógeno líquido en la unidad. La salida de la bomba mecánica está provista de una trampa de agua fría para evitar que el vapor de aceite ingrese al sistema.

    Bomba Molecular De Lubricación De Grasa

    (3) unidad de vacío ultraalto sin aceite

    La unidad de vacío que no usa aceite para hacer líquido de trabajo y no sella con material orgánico se denomina unidad de vacío súper alta sin aceite. Las bombas principales que se usan comúnmente incluyen la bomba criogénica, la bomba de titanio, la bomba de ión de pulverización, etc. Comparada con la unidad de vacío de aceite, tiene las siguientes ventajas:

    Vacío limpio y no se puede obtener ninguna fuente de contaminación.

    Cuando se pone en marcha la bomba de vacío sin aceite, se puede aislar la pre-bomba.

    Si la ventilación se detiene repentinamente, el sistema no se contaminará;

    No tiene aceite, ni ruido ni vibraciones, lo que mejora el entorno de trabajo.

    El grado de vacío del terminal es alto, la velocidad de bombeo es alta y el tiempo de bombeo es corto.

    Bomba de vacío de paleta rotativa de aceite directamente conectada