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  • Selección de tipo de unidad de vacío
    Jun 30, 2018


    1. Composición y Clasificación de las Unidades de Vacío

     

    La unidad de vacío generalmente está compuesta de los siguientes componentes: varias bombas de vacío, dispositivos de medición de vacío, válvulas de vacío, tubos de vacío y algunos otros componentes tales como sopladores, juntas de vacío, tanques de almacenamiento de gas, fuelles, colectores de polvo y relés de vacío.

     

    De acuerdo con la presión de trabajo de la unidad, existen unidades de vacío en bruto (> 1330Pa), unidades de bajo vacío (1330 ~ 0.13Pa), unidades de alto vacío (0.13 ~ 1.3x10-6Pa), unidades de vacío ultra alto (1.3x10-6 ) ~ 1.3 × 10-11 Pa) y unidad de vacío muy alta (<1.2 ×="" 10-11="">

     

    2. Unidad de vacío bajo

     

    Las principales características de la unidad de bajo vacío son una alta presión de trabajo y un gran desplazamiento, pero la velocidad de bombeo es menor que la de la unidad de alto vacío. Se utiliza principalmente para el bombeo aproximado de la cámara de vacío y algunas unidades de vacío que requieren una alta presión de trabajo, como unidades de descarga de vacío, unidades de impregnación al vacío, unidades de filtro de vacío, unidades de desgasificación al vacío, unidades de secado al vacío, etc. Las bombas principales de la unidad de bajo vacío son comúnmente bombas de vacío reciprocantes, bombas de vacío con sello de aceite, bombas de chorro de agua, bombas de chorro de vapor de agua, bombas de anillo de agua, bombas de chorro de vapor de aceite, bombas de adsorción de tamiz molecular y bombas Roots. Cuando se usa una unidad de bajo vacío, también es necesario configurar componentes tales como un colector de polvo y un filtro seco de acuerdo con los requisitos del proceso del grado de limpieza y humedad del gas que se bombeará.

     

    3. Unidad de alto vacío

     

    3.1 Elija la bomba principal. La bomba principal puede ser bomba de difusión, bomba molecular, bomba iónica por pulverización catódica, bomba de titanio, bomba criogénica, etc.

     

    3.2 Elija la bomba de respaldo y el tubo de almacenamiento de gas (a prueba de golpes, acorte el ciclo de trabajo, evite una gran cantidad de ventilación en la cámara de vacío y estabilice la presión de salida de la bomba de difusión)

     

    4. Unidad de vacío ultra alta

     

    El último vacío de la bomba principal es alto, la tasa de fuga es baja y es resistente a la cocción a 200-450 ° C.

     

    4.1 Unidad de bomba de difusión: reduce el reflujo y controla la contaminación.

     

    4.2 Unidad de bomba molecular: la relación de compresión a hidrógeno es pequeña, y el gas residual es principalmente hidrógeno.

     

    4.3 Unidad de bomba iónica Sputter: generalmente se usa en combinación con una bomba de titanio.

     

    4.4 Unidad de bomba criogénica: sin contaminación.