Inicio > Noticias > Contenido

Las categorías de productos

Información del contacto

  • HQ-Departamento de Comercio Exterior
  • IKS PVD Technology (Shenyang) Co., Ltd
  • Teléfono: 008615040177271 (Wechat / WhatsApp)
  • Correo electrónico: IKS.PVD@foxmail.com
  • Agregar: No.83-42, Puhe Road, Shenbei New District, Shenyang, 110000, Liaoning, China
  • Representante de ventas mundial
  • KING TECH CORPORATION
  • Tel: + 886-6-2137155
  • Fax: 886-6-2137667
  • Correo electrónico: info@kingtechcorp.com
  • ADD: Rm. B2, 10F., No.189, Sec. 1, Yongfu Rd., West Central Dist., Tainan City 70051, Taiwán.
  • El papel y la clasificación del voltaje de polarización
    Jan 07, 2019

    El papel y la clasificación de la tensión de polarización.

    Fuente de alimentación de voltaje de polarización pulsada


    IKS PVD, fuente de alimentación de voltaje de polarización pulsada, contacto : iks.pvd@foxmail.com


    Efecto sesgo en el proceso de recubrimiento:

     

    1. Aumente la energía de las partículas cargadas en el plasma de vacío, bombardee y limpie la superficie de la pieza de trabajo (anti-sputtering / etching), de modo que la superficie de la pieza de trabajo pueda exponerse a partículas de alta energía y obtener una superficie completamente nueva. capa, mejorando así la adhesión de la capa de película de deposición posterior.

    2. Mejore y controle la energía de las partículas cargadas en el plasma de vacío, aumente la probabilidad de ionización en la colisión, atraiga las partículas cargadas para acelerar y mejore la adhesión entre la capa de película y la matriz de la pieza.

    3, según la polaridad de salida de voltaje diferente o la forma de cambiar las reglas de deposición para ajustar el color de la película.

    4. Cambia la estructura cristalina de la película para mejorar su calidad.

     

    Clasificación de sesgos en el proceso de recubrimiento:

     

    1.DC sesgo negativo

    La tensión de polarización negativa de la corriente continua se carga en la pieza de trabajo, de modo que los iones positivos en el plasma pueden obtener más energía, y los iones positivos pueden acelerarse para bombardear la pieza de trabajo, lo que también puede conducir a un cierto grado de deposición de guía en la carga. Iones salpicados de la superficie del material objetivo. La polarización negativa Dc no tiene interrupción, por lo que tiene un efecto de calentamiento en el sustrato.

     

    2. DC sesgo positivo

    En la descarga de gas con revestimiento iónico, las partículas de nucleación en fase gaseosa presentarán un cierto potencial negativo, en cuyo caso la pieza de trabajo se carga con una cierta polarización positiva, lo que conduce a la deposición de la película.

     

    3. Sesgo de pulso

    Produce plasma oscilante. La densidad y la temperatura del plasma se pueden aumentar al aumentar la intensidad de la fuente de alimentación del pulso mientras se reduce la relación de trabajo del pulso. El efecto de bombardeo en todos los tipos de sustratos (conductores y no conductores) se mejora. La vida útil del electrón secundario aumenta y la probabilidad de colisión aumenta, lo que aumenta la densidad del plasma. La tasa de deposición se puede controlar ajustando la frecuencia del pulso y el ciclo de trabajo. El aumento de temperatura se puede controlar ajustando la frecuencia de pulso y la relación de trabajo, y la película se puede formar a baja temperatura para evitar dañar la estructura original del sustrato. Para arcos múltiples, debido a la velocidad de deposición rápida, no es adecuado para la deposición de películas de dispositivos electrónicos y otras piezas de precisión. La introducción del sesgo de pulso se puede mejorar efectivamente.

     

    4. Cero sesgo y sesgo de suspensión.

    Cero sesgo / sesgo de suspensión se puede usar en procesos de recubrimiento donde no están involucradas partículas cargadas (como evaporación simple, etc.).

    Cuando la pieza de trabajo (como las piezas de plástico) con un recubrimiento de baja tolerancia a la temperatura, para evitar la deformación de la pieza, puede elegir una polarización de sesgo / suspensión cero o elegir una tensión de polarización de baja amplitud de relación de trabajo pequeña.