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  • La causa de la falta de uniformidad del revestimiento sputtered Magnetron
    Jun 07, 2018


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    No importa qué tipo de máquina de costos de vacío, la uniformidad de los recubrimientos se verá afectada por un determinado factor.

     

    El funcionamiento de la máquina de recubrimiento por vacío de magnetrón sputtering consiste en hacer que los electrones bombardeen los iones argón formados por el gas argón y luego bombardeen el objetivo mediante el campo magnético ortogonal bajo el estado de vacío, y los iones objetivo se depositan en la superficie de la pieza de trabajo para formar el recubrimiento. Entonces, podemos considerar que el estado de vacío, el campo magnético y el argón son tres aspectos relacionados con la uniformidad del espesor de la película.

     

    El estado de vacío está controlado por un sistema de bombeo de aire. Cada puerto de bombeo debe ser accionado al mismo tiempo bajo una fuerza constante para que se pueda garantizar la uniformidad del bombeo. Si el bombeo no es uniforme, la presión en la cámara de vacío no puede ser uniforme, ya que la presión tiene cierta influencia en el movimiento de los iones. Además, el tiempo de bombeo debe ser controlado. Demasiado corto causará vacío insuficiente, pero será un desperdicio de recursos si es demasiado largo. Pero la existencia de vacuómetros hace que sea necesario.

     

    El campo magnético funciona ortogonalmente, pero es imposible hacer que la intensidad del campo magnético sea 100% uniforme. En general, cuando el campo magnético es fuerte, el grosor de la película será grande, y viceversa, por lo que el grosor de la película será inconsistente.

     

    La uniformidad del suministro de gas de argón también afecta la uniformidad de la capa de película. El principio es similar al grado de vacío. Debido a la entrada de gas de argón, la presión en la cámara de vacío cambiará en consecuencia. La uniformidad del espesor de la película puede controlarse mediante la presión uniforme.

     

    Aunque siempre hay varios factores que causan irregularidad en la película, pero la velocidad de aprobación de la película es muy alta si se realiza el funcionamiento correcto de la máquina de recubrimiento por vacío.