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  • Las mejores técnicas de detección de fugas para la máquina de recubrimiento PVD
    Apr 16, 2018

    Detección del método de burbuja


    La detección del método de burbujas de revestimiento PVD es preferible para contenedores de recubrimiento de PVD o dispositivos que se están procesando. La detección del método de burbujas de recubrimiento PVD significa rellenar la parte sometida a prueba con un cierto gas de indicación de fuga de presión y luego colocar la parte probada en el líquido. El gas ingresará al líquido circundante a través del orificio de fuga para formar burbujas. Y el lugar donde están las burbujas es la posición del agujero de fuga. Además, la tasa de fuga del agujero puede estimarse de acuerdo con la velocidad de formación y el tamaño de las burbujas, así como las propiedades físicas del gas de indicación de fugas.



    Detección del método de cobertura


    Método de cobertura La detección se refiere a un método que cubre todo el dispositivo de recubrimiento de PVD con una bolsa de plástico de etileno (cubierta) y luego llena la bolsa con helio, es decir, todo el contenedor de vacío se sumerge en el helio para detectar fugas. Después de evacuar completamente el gas, apague la válvula principal, la válvula en bruto y la válvula de fuga. Y luego use un medidor de vacío de ionización BA para medir el cambio en el aumento de presión para determinar si hay fugas.



    El recubrimiento de PVD es la suma del aumento de presión debido a la fuga de gas y el aumento de presión causado por la desgasificación del material, y finalmente es un aumento lineal que es proporcional al tiempo. Cuando la curva de recubrimiento de PVD exhibe tal estado como se describió anteriormente, eso significa que el dispositivo tiene fugas. Cuando no hay fugas y solo se desgasifica el material, la curva debe estar saturada. Si solo hay fugas sin desgasificación del material, es una línea recta que es proporcional al tiempo al principio.