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  • Equipo de evaporación del equipo de recubrimiento de vacío PVD
    Nov 08, 2017

    El sistema de evaporación del equipo de recubrimiento por vacío PVD se refiere principalmente a la parte que forma la película, la máquina de revestimiento PVD tiene muchos dispositivos de formación de película, el recubrimiento de PVD tiene calentamiento por resistencia, sputtering de RF, revestimiento de iones y otras formas.

    Los métodos de calentamiento por resistencia de revestimiento PVD y evaporación de la pistola de electrones se presentan a continuación:

    La evaporación de la resistencia de revestimiento PVD según su estructura y principio de funcionamiento es la más utilizada hasta el momento. El recubrimiento de PVD es el método de evaporación más utilizado, y el recubrimiento de PVD es el modo de evaporación más largo.


    La operación del recubrimiento de PVD es:

    La lámina de tungsteno recubierta con PVD formará una embarcación, y luego se instalará en el medio de los dos electrodos, recalentará la conducción hacia el material de revestimiento PVD, cuando el calor del barco de tungsteno sea más alto que el material de revestimiento PVD, materiales de sublimación o evaporación, revestimiento de PVD a la operación conveniente, estructura simple, bajo costo. La evaporación de la pistola de electrones con recubrimiento de PVD es el modo de evaporación más utilizado hasta el momento. El recubrimiento de PVD puede evaporar cualquier tipo de material de recubrimiento PVD.

    El material de recubrimiento en el interior del crisol, PVD se convertirá en fuente de evaporación en forma de filamento, revestimiento de PVD porque el material del filamento es de tungsteno, formando un recubrimiento de PVD debido al haz de electrones, la temperatura del haz de electrones es muy alta, el recubrimiento de PVD puede derretir cualquier recubrimiento materiales que se establecen.