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  • Requerimiento ambiental del equipo de revestimiento PVD
    Jan 20, 2018

    Debido a que la máquina de recubrimiento por vacío funciona en condiciones de vacío, el equipo debe cumplir con los requisitos ambientales del vacío.


    Los estándares industriales especificados de la máquina de recubrimiento al vacío (que incluyen especificaciones técnicas generales, equipos de recubrimiento por vacío, equipos de revestimiento por iones de vacío , equipos de revestimiento por pulverización al vacío y equipos de recubrimiento por evaporación al vacío) son requisitos claros para el medio ambiente. Solo cumplir con los requisitos ambientales de los equipos de recubrimiento por vacío puede producir buenos recubrimientos de PVD.


    Los requisitos ambientales de un vacío generalmente incluyen los requisitos del equipo de vacío en el entorno del laboratorio (o taller) donde se encuentra el equipo de vacío, como la temperatura y las partículas en el aire. Además del requisito de componentes o superficie expuestos en vacío o en estado de vacío. Estos dos aspectos están estrechamente relacionados. La calidad del ambiente circundante afecta directamente el uso normal del equipo de vacío, y la cámara de vacío o los componentes en la cámara están limpios o no tienen un impacto directo en el rendimiento del equipo. Si el aire contiene una gran cantidad de vapor de agua y polvo, en el caso de que la cámara de vacío no esté limpia, no es adecuado bombear el aire que puede corroer el metal, reaccionar con aceite de vacío o contener partículas de polvo. El vapor de agua es un tipo de gas condensable, cuando se extrae una gran cantidad de gas condensable, la contaminación del aceite de la bomba será más grave. Como resultado, el vacío final de la bomba disminuirá y, a continuación, perjudicará el rendimiento de bombeo de la bomba.


    El polvo en ambientes industriales se distingue por polvo, aerosol y polvo. Polvo significa una colección de polvo o partículas sólidas. El aerosol es un sistema material que flota en el aire en forma de sólidos o moléculas líquidas. Si el material es sólido o líquido, cualquier partícula puede denominarse colectivamente partículas de polvo. El nivel de limpieza del aire está determinado por el tamaño de las partículas de polvo y luego personaliza el nivel de la sala limpia.


    Las condiciones normales del equipo de recubrimiento al vacío, incluyendo:


    1. Temperatura ambiente: 10 ~ 30


    2. Humedad relativa 70%


    3. La temperatura de entrada del agua de refrigeración no es superior a 25


    4. El agua de enfriamiento es agua del grifo de la ciudad o agua comparable.


    5. Voltaje de suministro es 380V, trifásico es 50Hz o 220V, monofásico es 50Hz (determinado por el requisito de electrodomésticos que funcionan), rango de fluctuación de voltaje es 342V ~ 399V o 198V ~ 231V, rango de fluctuación de frecuencia es 49 ~ 51Hz .


    6. El aire comprimido requerido, el nitrógeno líquido, la presión del agua fría y caliente, la temperatura y el consumo del equipo deben indicarse en el manual del producto.


    7. El entorno debe estar limpio y ordenado, el aire no debe contener el polvo o el gas que pueda causar corrosión en la superficie de los aparatos eléctricos y otras partes metálicas o causar la conductividad eléctrica de las partes metálicas.


    Además, el laboratorio o taller donde se encuentra el equipo de vacío debe limpiarse con piso de pintura de madera o terrazo. Para evitar que el gas descargado por la bomba mecánica contamine el ambiente del laboratorio, el tubo de escape (tubo de metal y goma) debe instalarse en el puerto de escape de la bomba para descargar el gas fuera de la habitación.


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