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  • Solución de problemas comunes de Magnetron Sputtering Film
    May 12, 2018

    La película es gris y oscura

    1. El grado de vacío es inferior a 0,67 Pa. El grado de vacío debe aumentarse a 0.13-0.4Pa.

    2. La pureza del argón es menos del 99.9%. Plaese utiliza argón con una pureza del 99,99%.

    3. Fugas del sistema inflable. El sistema de inflado debe verificarse para eliminar fugas.

    4. El cebador no está completamente curado. El tiempo de curado de la imprimación debe extenderse apropiadamente.

    5. La cantidad de gas liberado de la pieza chapada es demasiado grande. La cámara debe secarse y sellarse


    Dim y superficie opaca

    1. El tiempo de sputtering es demasiado largo. El tiempo debe acortarse apropiadamente.

    2. La velocidad de esputo y formación de película es demasiado rápida. Por favor, reduzca adecuadamente la corriente o el voltaje de pulverización.


    Color desigual de recubrimiento

    1. La película es demasiado delgada. Por favor aumente la velocidad de pulverización o el tiempo de bombardeo.

    2. Diseño de accesorio irracional. El diseño del accesorio debería mejorarse.

    3. La geometría del sustrato es demasiado complicada. Por favor aumente apropiadamente la velocidad de rotación del sustrato.


    La película tiene arrugas o grietas

    1. La tasa de evaporación es demasiado rápida. Debería reducirse adecuadamente.

    2. La película es demasiado gruesa. El tiempo de sputtering debe acortarse apropiadamente.

    3. La temperatura del sustrato es demasiado alta. Por favor, acorte el tiempo de calentamiento del sustrato.


    La superficie de la película tiene marcas de agua, huellas dactilares y partículas de hollín

    1. El sustrato no se seca lo suficiente después de la limpieza. El tratamiento de preenplacado debe fortalecerse.

    2. La superficie del sustrato se salpica con agua o saliva. Los operadores deben usar máscaras.


    Mala adhesión

    1. Poco desengrase de las partes de chapado. El tratamiento de preenplacado debe fortalecerse.

    2. La cámara de vacío no está limpia. La cámara de vacío debe limpiarse. Tenga en cuenta que durante el proceso de carga y descarga de objetivos, está estrictamente prohibido usar las manos u otro objeto sucio es tocar la fuente del magnetrón.

    3. El accesorio no está limpio. El accesorio debe ser limpiado.

    4. Control incorrecto de las condiciones del proceso de pulverización. Por favor, mejore las condiciones del proceso de pulverización.