Sputtering System

El sistema de pulverización es el núcleo del recubrimiento de PVD, que consiste en objetivos , suministro de potencia objetivo y gas especial. Hay muchos tipos de fuente de alimentación objetivo y vienen en varias variedades de la siguiente manera:

1. De acuerdo con el modo de salida , hay fuente de alimentación de CC, fuente de alimentación de CA (onda sinusoidal, onda cuadrada), fuente de alimentación de pulso y fuente de alimentación de pulso superpuesta DC ;

2. De acuerdo con la frecuencia de salida , hay fuente de alimentación de CC, fuente de alimentación de baja frecuencia y fuente de alimentación de frecuencia media ;

3. De acuerdo con la potencia , hay suministro de baja potencia, suministro de potencia media, suministro de alta potencia y suministro de súper potencia;

4. De acuerdo con el modo de control , hay una fuente de alimentación de corriente constante, una fuente de alimentación de tensión constante y una fuente de alimentación constante.

Sistema de control

El sistema de control es el alma de todo el dispositivo, controla el funcionamiento de todo el sistema. El sistema de control consiste en un sistema operativo de software, un sistema de adquisición de datos, un sistema de análisis de datos y un sistema de transmisión ejecutivo, entre otros. Entre ellos, el sistema de recolección de datos recopila, flujo (vapor), presión de vacío, velocidad del motor, posición de la válvula y otra información. Además, el sistema operativo de software y el sistema de análisis de datos son PLC en la mayoría de los casos. Además, el sistema de transmisión ejecutivo consta de varios relés, contactores, válvulas de solenoide, interruptores, etc.