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  • Análisis de la capacidad de carga de potencia de los objetivos de pulverización Magnetron
    May 24, 2018

      1. Área objetivo y rango de potencia de carga

     

    (1) La densidad de potencia del objetivo de magnetrón plano circular es generalmente de 1 ~ 25w / cm 2

    (2) La densidad de potencia del objetivo de magnetrón planar rectangular es de 1 ~ 36w / cm 2

    (3) La densidad de potencia del objetivo de magnetrón columnar y el objetivo de magnetrón plano cónico (pistola S) es generalmente de 40 ~ 50 w / cm 2 .

     


    2. Potencial de carga real del objetivo de magnetrón

     

    Además de la tecnología de pulverización catódica y los requisitos de calidad de la película, la potencia real de soporte del objetivo de magnetrón también está estrechamente relacionada con las condiciones de enfriamiento y las condiciones de disipación de calor del objetivo.

     

    Los objetivos de Magnetron se pueden dividir en dos tipos: "objetivo directo de enfriamiento con agua" y "objetivo indirecto de enfriamiento con agua", según el método de enfriamiento.

    Si se considera el envejecimiento del objetivo después del uso a largo plazo, las condiciones de disipación de calor son escasas y se tienen en cuenta los diferentes coeficientes de transferencia de calor de diferentes materiales objetivo, la potencia de carga máxima del objetivo de magnetrón y la potencia máxima real puede ajustarse ligeramente menos que el límite superior del rango de densidad de potencia. Y la carga máxima real del objetivo indirecto de enfriamiento con agua puede establecerse aproximadamente la mitad del límite superior del rango de densidad de potencia.

     

    Cuando el magnetrón se dirige (principalmente Cu, Ag, latón y bronce de Al) a "autodestrucción", normalmente utiliza un objetivo de pulverización de magnetrón específicamente diseñado para "dirigir el enfriamiento por agua". La potencia de transporte máxima para usar debe ser mayor que el límite superior del rango de densidad de potencia objetivo.